中国科学院空天信息创新研究院彭春荣获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器和电场检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119805011B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411155478.1,技术领域涉及:G01R29/12;该发明授权灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器和电场检测方法是由彭春荣;王俊鹏;毋正伟;任仁;郑凤杰;吕曜设计研发完成,并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器和电场检测方法在说明书摘要公布了:本公开提供了一种灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器和电场检测方法,可以应用于电场传感器技术领域。该模态局域化感应式电场传感器和电场检测方法包括:衬底,用于支撑谐振器阵列单元、电极单元和刚度调节电极单元;谐振器阵列单元,设置在衬底中心的上方,用于驱动谐振器振动,其中,谐振器阵列单元包括谐振器和与谐振器相连接的梳齿结构;电极单元,电极单元和与谐振器相连接的梳齿结构交错排列,用于响应于谐振器振动产生输出信号;刚度调节电极单元,设置在谐振器阵列单元的两侧,用于调整谐振器的刚度差和共模量误差,以便于使谐振器满足模态局域化,调整灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器的灵敏度。
本发明授权灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器和电场检测方法在权利要求书中公布了:1.一种灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器,包括: 衬底,用于支撑谐振器阵列单元、电极单元和刚度调节电极单元,所述衬底的表面设置有锚点; 谐振器阵列单元,设置在所述衬底中心的上方,用于驱动谐振器振动,其中,所述谐振器阵列单元包括所述谐振器和与所述谐振器相连接的梳齿结构; 电极单元,所述电极单元和与所述谐振器相连接的梳齿结构交错排列,用于响应于所述谐振器振动产生输出信号,其中,与谐振器相连接的梳齿结构包括第一梳齿结构和第二梳齿结构,所述电极单元包括电场感应电极单元和参考输出电极单元;所述第一梳齿结构设置在所述电场感应电极单元一侧,与所述电场感应电极单元差分交错排列,用于响应于所述谐振器振动,根据电荷感应原理,产生并输出感应信号;所述第二梳齿结构设置在所述参考输出电极单元一侧,与所述参考输出电极单元交错排列,用于响应于所述谐振器振动改变参考电极与所述第二梳齿结构之间的电容,根据电容变化量,产生并输出参考信号; 刚度调节电极单元,设置在所述谐振器阵列单元的两侧,用于调整所述谐振器的刚度差和共模量误差,以便于使所述谐振器满足模态局域化,调整所述灵敏度可调的模态局域化感应式电场传感器的灵敏度。
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