江苏光启灵犀装备有限公司林智威获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏光启灵犀装备有限公司申请的专利一种抗HF去胶可碱溶的光刻胶及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119805863B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510096739.5，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种抗HF去胶可碱溶的光刻胶及其制备方法是由林智威;张漫江;郑怡倩设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抗HF去胶可碱溶的光刻胶及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻技术领域，具体为一种抗HF去胶可碱溶的光刻胶及其制备方法。本发明克服现有技术中光刻胶耐氢氟酸效果差和去胶过程碱难溶的问题；通过硅氧键的引入得到改性酚醛树脂，通过含氟丙烯酸酯单体的加入得到改性丙烯酸酯，将改性酚醛树脂、改性丙烯酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、光敏物质以及助剂搅拌分散过滤除杂得到光刻胶胶体，再将光刻胶胶体与改性纳米二氧化钛搅拌分散，除杂得到抗氢氟酸去胶可碱溶的光刻胶；通过引入刚性硅氧基团以及刚性含氟基团，协同使用改性纳米二氧化钛填充光刻胶树脂的空隙，提高光刻胶的抗氢氟酸性能，同时在酸刻蚀后，利用树脂空隙提高碱溶速率，降低去胶过程中污染物产生以及有机溶剂使用。
本发明授权一种抗HF去胶可碱溶的光刻胶及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种抗HF去胶可碱溶的光刻胶，其特征在于：所述光刻胶包括光刻胶胶体与改性纳米二氧化钛； 其中所述光刻胶胶体包括改性酚醛树脂45-75份，改性丙烯酸酯12-25份，光敏剂5-15份，溶剂160-240份和乳液助剂； 所述改性酚醛树脂通过酚化合物、醛化合物和改性剂一制备得到；所述改性丙烯酸酯通过苯乙烯丙烯酸酯、丙烯酸和改性剂二制备得到； 所述改性剂一选自端羟基聚二苯基硅氧烷、端羟基聚苯基甲基硅氧烷和端羟基聚二甲基硅氧烷中的一种；所述改性剂二选自甲基丙烯酸六氟苯丙酯、全氟辛基乙基丙烯酸酯、甲基丙烯酸中的一种； 所述光刻胶胶体与改性纳米二氧化钛的质量份数比为8-12:1； 所述乳液助剂包括硅油和抗氧剂1010。
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