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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利基板翘曲测量的温度漂移校正方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812028B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411883054.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基板翘曲测量的温度漂移校正方法、装置、设备及介质是由苏佳妮;齐月静;武志鹏;齐威设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板翘曲测量的温度漂移校正方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基板翘曲测量的温度漂移校正方法、装置、设备及介质，其中，方法包括根据基板高度测量的校准系数模型，确定多项待校准系数；基于设定的温度标定点和各温度标定点下的校准次数，基于基板翘曲测量系统对基板进行各温度标定点下进行对应校准次数的校准操作的结果，获得多个各校准系数，并求取平均值，获得校准系数修正表；基于校准系数修正表，通过多项式差值法或机器学习方法确定待检测温度下修正的各校准系数，并根据校准系数模型确定修正后的基板高度，从而实现检测温度下基板高度的温度漂移校正。本申请对基板翘曲测量系统的校准系数进行在线修正，补偿校准系数随温度变化引起的误差，从而提高基板翘曲测量系统的测量精度。

本发明授权基板翘曲测量的温度漂移校正方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种基板翘曲测量的温度漂移校正方法，其特征在于，包括以下步骤： 根据基板高度测量的校准系数模型，确定多项待校准系数； 基于设定的温度标定点和各温度标定点下的校准次数，基于基板翘曲测量系统对基板进行各温度标定点下进行对应校准次数的校准操作的结果，获得多个各校准系数，并对每个校准系数的多个值求取平均值，从而获得关于温度标定点的各校准系数序列，作为校准系数修正表；具体包括以下步骤： 根据基板翘曲测量系统的温度设置范围，预设测试温度范围及温度选定间隔，从而确定各温度标定点，且设定各温度标定点下对基板校准操作的校准次数； 根据预设的温度点，使用基板翘曲测量系统对基板进行对应校准次数的校准操作，获得对应个数的各校准系数的值； 对获得的各校准系数值分别求取平均值，从而获得对应温度标定点的各校准系数值； 遍历温度标定点，直至获得各温度标定点对应的各校准系数值，从而获得关于温度标定点的各校准系数序列，作为校准系数修正表；以及 基于校准系数修正表，通过多项式差值法或机器学习方法确定待检测温度下修正的各校准系数，并根据校准系数模型确定修正后的基板高度，从而实现检测温度下基板高度的温度漂移校正。

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