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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119879084B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510064536.8，技术领域涉及：F17D1/08；该发明授权一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备是由何强军;纪雪峰设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备，液态源输送系统包括第一储液单元、第二储液单元、第三储液单元、第四储液单元、第一动力气体供应单元、第二动力气体供应单元、第一吹扫气体供应单元、第二吹扫气体供应单元和第一真空单元。其优点在于，第一吹扫气体供应单元可将第三储液单元内的溶解液压入第一储液单元、第二储液单元以及多个管路，从而对通过溶解液可对第一储液单元、第二储液单元以及多个管路进行清洗，从而可将粘黏在管壁以及残余在第一储液单元、第二储液单元中的液态源溶解并排出，进而提升对第一储液单元、第二储液单元以及多个管路清洗的洁净度。

本发明授权一种液态源输送系统、方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种液态源输送系统，其特征在于，包括： 第一储液单元，所述第一储液单元用于存储液态源； 第二储液单元，所述第二储液单元分别与所述第一储液单元、工艺设备通过管路连通，并位于所述第一储液单元的下游，用于缓冲液态源以及输送液态源至工艺设备； 第三储液单元，所述第三储液单元分别与所述第一储液单元、所述第二储液单元通过管路连通，用于存储溶解液以及输送溶解液至所述第一储液单元、所述第二储液单元； 第四储液单元，所述第四储液单元分别与所述第一储液单元、所述第二储液单元通过管路连通，用于储存废液； 第一动力气体供应单元，所述第一动力气体供应单元分别与第一动力气源、所述第一储液单元通过管路连通，用于供应第一动力气体至所述第一储液单元以使所述第一储液单元的液态源向所述第二储液单元流动； 第二动力气体供应单元，所述第二动力气体供应单元分别与第二动力气源、所述第二储液单元通过管路连通，用于供应第二动力气体至所述第二储液单元以使所述第二储液单元的液态源向工艺设备流动； 第一吹扫气体供应单元，所述第一吹扫气体供应单元分别与第一吹扫气源、所述第一储液单元、所述第二储液单元、所述第三储液单元、所述第四储液单元通过管路连通，用于分别输送第一吹扫气体至所述第一储液单元、所述第二储液单元、所述第三储液单元、所述第四储液单元以将管路内的液态源、溶解液、废液分别压入所述第一储液单元、所述第二储液单元、所述第三储液单元、所述第四储液单元； 第二吹扫气体供应单元，所述第二吹扫气体供应单元分别与第二吹扫气源、所述第三储液单元通过管路连通，用于输送第二吹扫气体至所述第三储液单元以将溶解液分别压入管路、所述第一储液单元、所述第二储液单元以使溶解液对管路、所述第一储液单元、所述第二储液单元进行清洗； 第一真空单元，所述第一真空单元分别与所述第一储液单元、所述第二储液单元、所述第三储液单元、所述第四储液单元连通，用于对所述第一储液单元、所述第二储液单元、所述第三储液单元和所述第四储液单元进行真空处理； 其中，所述第三储液单元包括： 第三储液元件，所述第三储液元件与所述第一储液单元连通，用于存储溶解液； 第六输送管路元件，所述第六输送管路元件分别与所述第三储液元件、所述第一吹扫气体供应单元、所述第二吹扫气体供应单元连通，用于输送气体； 第七输送管路元件，所述第七输送管路元件分别与所述第三储液元件、所述第一储液单元、所述第二储液单元、所述第一吹扫气体供应单元连通，用于输送气体和液体； 第八输送管路元件，所述第八输送管路元件与所述第七输送管路元件连通，用于输送液体； 至少一第九输送管路元件，所述第九输送管路元件分别与所述第八输送管路元件、所述第二储液单元连通，用于输送液体； 其中，所述第一吹扫气体供应单元包括： 第一吹扫管路元件，所述第一吹扫管路元件与第一吹扫气源，用于输送第一吹扫气体； 第二吹扫管路元件，所述第二吹扫管路元件分别与所述第一吹扫管路元件、所述第一储液单元连通，用于输送第一吹扫气体至所述第一储液单元以将管路内的液态源压入所述第一储液单元； 第三吹扫管路元件，所述第三吹扫管路元件分别与所述第一吹扫管路元件、所述第二储液单元的第二储液元件连通，用于输送第一吹扫气体至所述第二储液单元以将管路内的液态源压入所述第二储液单元； 第四吹扫管路元件，所述第四吹扫管路元件分别与所述第一吹扫管路元件、所述第三储液单元连通，用于输送第一吹扫气体至所述第三储液单元以将管路内的溶解液压入所述第三储液单元； 第五吹扫管路元件，所述第五吹扫管路元件分别与所述第一吹扫管路元件、所述第四储液单元连通，用于输送第一吹扫气体至所述第四储液单元以将管路内的废液压入所述第四储液单元； 第六吹扫管路元件，所述第六吹扫管路元件分别与所述第一吹扫管路元件、所述第三储液单元连通，用于输送第一吹扫气体至所述第三储液单元以将所述第三储液单元的液体排出。

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