青岛思锐智能科技股份有限公司魏建峰获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种功率调节方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119920667B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510085169.X,技术领域涉及:H01J37/317;该发明授权一种功率调节方法、装置、电子设备及存储介质是由魏建峰;颜凯凯;刘栋;田龙;张丛;车守刚;范俊杰设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种功率调节方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供一种功率调节方法、装置、电子设备及存储介质,涉及控制技术领域。在本申请中,对离子注入机的射频装置中的电压信号和电流信号进行鉴相处理,获得鉴相结果,根据鉴相结果可以确定射频装置中的电压信号和电流信号是否同相,进而可以确定射频电源的输出功率是否为较大的输出功率。并且,通过实时检测与射频电源的输出功率变化情况相反的反射功率是否满足预设的反射功率条件,以及调整射频装置中电容的板间距来改变反射功率的大小,可以确保射频电源在射频装置的工作过程中保持较大的输出功率。
本发明授权一种功率调节方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种功率调节方法,其特征在于,包括: 对离子注入机的射频装置中的电压信号和电流信号进行鉴相处理,获得鉴相结果;其中,所述电压信号的频率和所述电流信号的频率相同,所述鉴相结果表征所述电压信号与所述电流信号之间的相位差; 基于所述鉴相结果调整所述射频装置中电容的板间距,直至所述射频装置对应的射频电源的反射功率满足预设的反射功率条件为止;其中,所述反射功率条件用于指示针对所述射频电源设置的输出功率范围,所述输出功率范围包括所述射频电源的最大输出功率;所述基于所述鉴相结果调整所述射频装置中电容的板间距,包括:基于所述鉴相结果获得所述电压信号和所述电流信号在所述电压信号对应的单位信号周期内的第一零点;所述第一零点为所述单位信号周期内所述电流信号的电流波形与所述电压信号的电压波形的一个交点;基于所述第一零点和针对所述第一零点设置的第一谐振点调整所述电容的板间距;或者,基于所述鉴相结果获得所述电压信号和所述电流信号在所述电压信号对应的单位信号周期内的第二零点;第二零点对应的频率值大于所述第一零点对应的频率值,所述第一零点和所述第二零点为所述单位信号周期内所述电流信号的电流波形与所述电压信号的电压波形的两个交点;基于所述第二零点和针对所述第二零点设置的第二谐振点调整所述电容的板间距,若满足以下条件,则确定所述射频电源的反射功率满足预设的反射功率条件:在调整所述电容的板间距的过程中,所述反射功率的变化情况为先减小后增加。
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