中山智隆新材料科技有限公司王靓栎获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119954497B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510085652.8,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用是由王靓栎;葛春桥;陈露设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于氧化物靶材技术领域,具体公开了一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用。本发明的多元掺杂氧化铟靶材的原料组分包括氧化铟、氧化镓、二氧化钛和氧化锆。本发明的锆元素掺杂的IGTO靶材的烧结温度较低,并且具有较高的致密度和较低的电阻率,可以制备得到性能优异的IGTO薄膜,薄膜透光率高,并且具有较低的亚阈值摆幅,可以使薄膜器件的稳定性得到提升,在钙钛矿太阳能电池中具有很好的应用前景。本发明还提供多元掺杂氧化铟靶材的制备方法和应用。
本发明授权一种多元掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种氧化铟靶材,其特征在于,所述氧化铟靶材的原料组分包括氧化铟、氧化镓、二氧化钛和氧化锆,所述氧化铟靶材的制备方法包括将成型后的素坯进行烧结从而得到氧化铟靶材,所述烧结的最高烧结温度为1200~1300℃。
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