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龙图腾网获悉福州大学申请的专利一种自聚焦型晶圆三维形貌精密检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119984090B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510124665.1，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种自聚焦型晶圆三维形貌精密检测装置及方法是由钟舜聪;萧潼;张秋坤;林杰文设计研发完成，并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自聚焦型晶圆三维形貌精密检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种自聚焦型晶圆三维形貌精密检测装置及方法，包括超辐射发光二极管、光纤耦合器、设有参考臂显微物镜的显微参考臂、显微扫描平台的自焦距晶圆扫描平台、近红外反射式光谱仪和上位机；检测时，二极管辐射出的近红外宽带光耦合进入光纤耦合器后被分成探测光、参考光；待测晶圆移动至探测光焦点处；探测光聚焦至待测晶圆样品上，形成携带有样品表面信息的测量光，然后被样品表面背向散射而回并与参考光在光纤耦合器处发生干涉，形成的干涉光信号被近红外反射式光谱仪捕获后传输进入上位机中，在探测光焦点处移动晶圆样品，进行XY轴扫描以获得晶圆三维形貌数据；本发明能够在不损坏芯片样品的情况下实现芯片三维形貌的高精度无损检测。

本发明授权一种自聚焦型晶圆三维形貌精密检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种自聚焦型晶圆三维形貌精密检测装置，其特征在于：所述装置包括超辐射发光二极管1、光纤耦合器2、设有参考臂显微物镜5的显微参考臂、显微扫描平台13的自焦距晶圆扫描平台、近红外反射式光谱仪和上位机；检测时，待测晶圆样品固定于自焦距晶圆扫描平台处；超辐射发光二极管辐射出的近红外宽带光耦合进入光纤耦合器后被分成输入显微探测臂的探测光、输入显微参考臂的参考光；所述自焦距晶圆扫描平台将待测晶圆移动至探测光焦点处；所述探测光经显微探测臂的显微探头聚焦至待测晶圆样品上，形成携带有样品表面信息的测量光，然后被样品表面背向散射而回并与参考光在光纤耦合器处发生干涉，形成的干涉光信号被近红外反射式光谱仪捕获后传输进入上位机中，通过控制自焦距晶圆扫描平台在探测光焦点处移动晶圆样品，对样品进行XY轴扫描以获得晶圆三维形貌数据； 自焦距晶圆扫描平台处设有光电探测器12，所述光电探测器包括光电开关和设于显微扫描平台处的挡板；当显微扫描平台沿X方向移动一段预设距离后，挡板将遮挡光电开光的发射器和接收器之间的光束，光电开关输出的信号由低电平切换至高电平形成触发信号，使近红外反射式光谱仪的线阵相机16被触发并开始采集干涉信号，当完成预定数量的图片采集后，然后系统进入等待下一个触发信号的状态； 所述近红外反射式光谱仪的光输入端包括光纤APC接头、缩放套筒、光谱仪准直透镜19、全息反射式光栅18、聚焦透镜、线阵相机，所述线阵相机为线阵CCD相机； 在对晶圆进行检测时，干涉光信号由APC接头入射，调节缩放套筒对干涉光进行准直后，形成的平行光以预定的角度入射至全息反射式光栅表面，全息反射式光栅经1级衍射后将准直光束按波长进行分光，再由聚焦透镜聚焦至线阵CCD相机，使干涉光信号经光路转换为电信号形式的干涉信号并传输至外部的上位机，上位机为计算机15。

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