买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳智现未来工业软件有限公司申请的专利一种基于vision transformer模型的晶圆体缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119991571B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411970942.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于vision transformer模型的晶圆体缺陷检测方法是由李云豪;夏敏;易丛文;管健设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于vision transformer模型的晶圆体缺陷检测方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种基于visiontransformer模型的晶圆体缺陷检测方法，属于半导体制造与计算机视觉技术交叉领域。该方法通过采集晶圆体正常视角的俯视图和有缺陷视角的俯视图并通过绝对差值法对缺陷位置进行定位。对定位区域进行信息融合，放大缺陷的特征，更加利于模型进行学习。提出L‑Vit结构，该结构把经过绝对差值处理后的数据也转化成矢量序列与有缺陷视角的矢量序列相结合更加突出缺陷的特征。本发明提出新的多头自注意力机制p‑MHA，在多头自注意力机制中加入对q,v相关联的公式，主要目的是使绝对差值序列矢量和有缺陷视角的矢量序列联系更加紧密，同时减少了多头注意力机制的数据量，减少模型的数据量。

本发明授权一种基于vision transformer模型的晶圆体缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于visiontransformer模型的晶圆体缺陷检测方法，包括以下步骤： 步骤S1、采集晶圆体正常视角的俯视图和有缺陷视角的俯视图，并将两者转换为相同的图像格式和尺寸,采用双线性插值算法，考虑了目标像素点周围四个像素点的信息确保每个像素点能一一对应； 步骤S2、将步骤S1中获取的两张图片中相同坐标位置的像素点进行对比，依据晶圆图像特质、噪声及最小缺陷尺寸综合确定阈值，遍历图像的像素，获取其RGB值并计算与周边九宫格邻域的像素在各通道绝对差值，一旦某像素至少一通道的绝对差值超阈值，便标记为疑似缺陷点，接着依期望检测5x5像素下的缺陷尺寸，以所述疑似缺陷点为中心确定扩展区域，通过二值图像标记将区域内像素标记为缺陷位置； 步骤S3、对缺陷位置的像素点进行处理，采用基于质心匹配的方法提取缺陷位置的目标位置和目标信息；采集晶圆体的正常视角的图片，对图片进行数据预处理，并通过矩阵相似性计算找出缺陷位置应该在正常视角下的位置进行融合，与有缺陷特征的位置进行特征的融合； 步骤S4、构建基于visiontransformer的L-Vit结构，先提取晶圆体图像中缺陷的位置信息，将其编码为矢量序列，序列包含缺陷中心坐标、边界框参数的关键数据，之后进行预处理，采用归一化操作调整数值范围，利用平滑算法减少噪声干扰，最后将处理后的矢量序列融入visiontransformer架构中； 步骤S5、采用改进多头自注意力机制p-MHA对缺陷特征进行计算，首先融合序列经过交互计算得到当前位置和实际位置之间的相关性，之后p-MHA在注意力计算前对q和v进行预处理，在关键位置进行交互过滤噪声和无关信息的干扰，最后确定q的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳智现未来工业软件有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区留仙大道创智云城1标段1栋D座2701；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。