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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种单腔全自动快速退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119993864B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510068009.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种单腔全自动快速退火设备是由冼健威;孙俊;黄慕航设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单腔全自动快速退火设备在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆退火技术领域的一种单腔全自动快速退火设备，包括框架，框架内安装有退火炉，退火炉包括：炉体，安装于框架内，且端部设置有炉门，炉体底部安装有驱动结构，炉门与炉体之间安装有开合电缸；石英支架，顶部通过卡扣设置有活动支架；辐照件，安装于活动支架顶部，晶圆载盘偏心设置于辐照件顶部；传动结构，安装于活动支架内，且能够与驱动结构轴向滑动连接；加热源，安装于炉体顶部；灯罩，灯罩内设置有腔体一；同步结构，安装于灯罩和传动结构之间；能够驱动晶圆围绕照射区中心转动并且自转，使晶圆各个部分依次经过照射区中心的高热量区，提高晶圆受热均匀程度；同时，能够缩短晶圆与加热源之间的间距，缩短晶圆加热效率。

本发明授权一种单腔全自动快速退火设备在权利要求书中公布了：1.一种单腔全自动快速退火设备，包括框架1，所述框架1内安装有晶舟平台11、机械臂12、冷却站13、退火炉2，晶圆载盘14、顶升机构15，其特征在于：所述退火炉2包括： 炉体21，安装于框架1内，且端部设置有炉门22，所述炉体21底部安装有驱动结构7，所述炉门22与炉体21之间安装有开合电缸23； 石英支架24，安装于炉门22内侧，且顶部通过卡扣设置有活动支架25； 辐照件8，安装于活动支架25顶部，所述晶圆载盘14偏心设置于辐照件8顶部； 传动结构6，安装于活动支架25内，且能够与驱动结构7轴向滑动连接，用于驱动晶圆载盘14自转和围绕辐照件8轴线转动； 加热源4，安装于炉体21顶部； 灯罩41，安装于炉体21顶部，且设置于加热源4外侧，所述灯罩41内设置有腔体一42，所述腔体一42内的气体通过热胀冷缩调整灯罩41的高度，改变加热源4的光束角； 同步结构5，安装于灯罩41和传动结构6之间；灯罩41高度改变，同步结构5通过传动结构6等比例同向改变晶圆载盘14的高度。

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