东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司蒋俊海获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子束检测设备的扫描补偿方法、产品及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120009321B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510138268.X，技术领域涉及：G01N23/2251；该发明授权电子束检测设备的扫描补偿方法、产品及设备是由蒋俊海;高爽;李昱乾;刘家欣设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束检测设备的扫描补偿方法、产品及设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种电子束检测设备的扫描补偿方法、产品及设备。其中上述方法包括：由电子束检测设备按照晶圆被测表面的预设扫描方向进行持续扫描检测；在扫描检测过程中，由承载晶圆的工作台带动晶圆在被测表面所在平面内沿预设平移方向进行位移；由位置检测装置检测工作台在位移过程中的抖动位移量，抖动位移量为工作台在位移过程中由于机械抖动导致实际位置与理论位置的偏差量；根据抖动位移量对电子束检测设备的扫描波形进行补偿。通过此方法，能够使得电子束跟随补偿后的扫描波形进行扫描，从而有效降低工作台在位移过程中因机械抖动造成的扫描误差，消除扫描结果中的图像抖动，使得扫描结果更接近晶圆表面的真实情况。
本发明授权电子束检测设备的扫描补偿方法、产品及设备在权利要求书中公布了：1.一种电子束检测设备的扫描补偿方法，包括： 由所述电子束检测设备按照晶圆被测表面的预设扫描方向进行持续扫描检测； 在扫描检测过程中，由承载所述晶圆的工作台带动所述晶圆在所述被测表面所在平面内沿预设平移方向进行位移，所述预设平移方向与所述预设扫描方向存在设定偏转角度； 由位置检测装置检测所述工作台在位移过程中的抖动位移量，所述抖动位移量为所述工作台在位移过程中由于机械抖动导致实际位置与理论位置的偏差量； 将所述抖动位移量代入预设补偿算法模型计算得到抖动补偿量； 根据所述抖动补偿量对所述电子束检测设备的扫描波形进行补偿，得到补偿扫描波形。
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