深圳市汇芯通信技术有限公司梁帅获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市汇芯通信技术有限公司申请的专利一种功率MOS器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120091599B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510296736.6,技术领域涉及:H10D30/63;该发明授权一种功率MOS器件及其制备方法是由梁帅;许明伟;樊晓兵设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种功率MOS器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种功率MOS器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,公开了功率MOS器件,包括:漂移层;使用了高导热材料的第一衬底层和第二衬底层,分别设置于漂移层的两侧;漏极层,设置于漂移层的背面;第一沟道层和第二沟道层,分别设置于第一衬底层和第二衬底层的正面;P型阱,设置于第一沟道层和第二沟道层之间,P型阱内部形成有N型掺杂区,N型掺杂区内部形成有P型掺杂区;栅极结构,设置于第一沟道层和第二沟道层的正面;介质层,设置于栅极结构的正面,并包覆栅极结构;介质层设置有连接孔;源极层,设置于介质层的正面,并通过连接孔与N型掺杂区和P型掺杂区接触。本申请有效提升了功率MOS器件的热耗散能力。
本发明授权一种功率MOS器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种功率MOS器件,其特征在于,所述功率MOS器件包括: 漂移层; 第一衬底层和第二衬底层,分别设置于所述漂移层的两侧,其中,所述第一衬底层和或所述第二衬底层的材料为高导热材料,所述高导热材料包括金刚石; 漏极层,设置于所述漂移层的背面; 第一沟道层和第二沟道层,分别设置于所述第一衬底层和所述第二衬底层的正面; P型阱,设置于所述第一沟道层和所述第二沟道层之间,所述P型阱内部形成有N型掺杂区,所述N型掺杂区内部形成有P型掺杂区,所述P型阱制备的步骤包括:在所述沟道层的正面制备第一氧化物层;在所述第一氧化物层的正面定义第一光刻胶图形;基于所述第一光刻胶图形刻蚀所述第一氧化物层,形成P型阱注入窗口;对暴露于所述P型阱注入窗口的沟道层进行P型掺杂,得到所述P型阱; 栅极结构,设置于所述第一沟道层和所述第二沟道层的正面; 介质层,设置于所述栅极结构的正面,并包覆所述栅极结构;所述介质层设置有连接孔; 源极层,设置于所述介质层的正面,并通过所述连接孔与所述N型掺杂区和所述P型掺杂区接触。
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