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龙图腾网获悉黑曼巴半导体(无锡)有限公司申请的专利一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120095652B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510450808.8，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备是由陈思雯;钱佳;余江设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备，属于半导体研磨单元的平整器检测技术领域，包括中空底座，所述中空底座的上表面设置有安装架，且安装架设置有两个，两个所述安装架的内顶部均设置有激光干涉仪，所述中空底座的内部设置有传送机构，且传送机构上设置有夹持固定机构，且夹持固定机构设置有若干组，所述夹持固定机构包括方形安装块；通过设置的夹持固定机构，能够稳定的夹持固定平整器，继而顺利的将平整器移送至激光干涉仪处进行检测，接着在移送至第二个激光干涉仪之前，通过设置的翻转机构，能够将平整器翻转一百八十度，继而使得第二个激光干涉仪对平整器的另一个面进行检测，操作简单快捷，检测效率高。

本发明授权一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备，包括中空底座1，所述中空底座1的上表面设置有安装架7，且安装架7设置有两个，两个所述安装架7的内顶部均设置有激光干涉仪8，其特征在于，所述中空底座1的内部设置有传送机构2，且传送机构2上设置有夹持固定机构3，且夹持固定机构3设置有若干组，所述夹持固定机构3包括方形安装块301，且方形安装块301前后对称设置有两个，两个所述方形安装块301的内部均转动安装有圆柱形转动块302，两个所述圆柱形转动块302的内部均转动安装有螺杆303，两个所述螺杆303的圆周表面均螺纹连接有移动块304，两个所述移动块304相互靠近的一侧均设置有连接杆305，两组所述连接杆305的另一端分别贯穿两个所述圆柱形转动块302并固定连接有弧形夹持板306，两个所述弧形夹持板306之间夹持固定有平整器主体4，两个所述圆柱形转动块302远离平整器主体4的一侧均设置有环形连接块308，两个所述环形连接块308的圆周外表面均设置有转动齿轮二309，两个所述转动齿轮二309的外侧均设置有转动齿轮一307，两个所述转动齿轮一307分别设置在两个所述螺杆303的圆周表面； 所述中空底座1的内部设置有翻转机构5，所述翻转机构5包括安装板501，所述安装板501前后对称设置有两个并分别设置在中空底座1前后两侧的内壁，且两个安装板501均设置在两个所述安装架7的中间，两个所述安装板501的上表面均设置有齿板一503和固定凸板504，所述固定凸板504比齿板一503更靠近平整器主体4； 每个所述方形安装块301的上方均通过复位弹簧505连接有升降板502，且升降板502与固定凸板504处于同一水平面，所述升降板502的下端低于固定凸板504的高度，且不与安装板501的上表面接触，所述转动齿轮二309与齿板一503处于同一水平面，且转动齿轮二309的轮齿与齿板一503的轮齿相匹配； 所述升降板502上端的下表面设置有插接块506，所述圆柱形转动块302的上下两端均开设有插槽12，所述插接块506的下端贯穿方形安装块301的上端并插接在上端所述插槽12的内部； 所述中空底座1内部的前后两侧均开设有活动槽9，两个所述活动槽9的左侧内部均设置有升降气缸一10，所述升降气缸一10的上端设置有齿板二11，所述齿板二11的轮齿与转动齿轮一307的轮齿相匹配。

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