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青岛航天半导体研究所有限公司张辰龙获国家专利权

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龙图腾网获悉青岛航天半导体研究所有限公司申请的专利自动金丝键合机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120221453B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510273819.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权自动金丝键合机是由张辰龙;陈广民;李晓卿;生万福设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

自动金丝键合机在说明书摘要公布了:本发明公开了自动金丝键合机,涉及半导体加工设备技术领域,包括机架,所述机架的前端设置有横板。本发明通过联动机构、推送机构和限位机构实现了液压缸对两者的同步驱动,在液压缸驱动安装板竖直上移时,齿轮与齿板架啮合传动,带动斜齿盘、可调轮及传动轮使传送带自动间隔运转,无需人工干预,确保了键合工序的高效流畅;同时,联动机构通过锥齿轮组与皮带轮组驱动旋转轴,实现限位板的快速上移与下移,自动完成基板的限位与解除,有效防止基板位移,提高键合稳定性;此外,减少了独立驱动件和控制元件数量,降低设备成本、能源消耗以及维护和故障排查的难度,简化了结构,提高了设备的可靠性和稳定性,进一步提升了工作效率。

本发明授权自动金丝键合机在权利要求书中公布了:1.自动金丝键合机,包括机架1,所述机架1的前端设置有横板2,且横板2的内部安装有液压缸3,所述液压缸3的底端与安装板11连接,所述安装板11的底端设置有位移座10,所述位移座10的底端安装有金丝进给系统4,且金丝进给系统4底端的内侧安装有焊针12;其特征在于: 所述机架1的后端设置有支撑框13,且支撑框13的内侧设置有联动机构5,所述联动机构5包括有通过轴承转动连接在机架1与支撑框13之间的联动轴503,所述联动轴503的外侧套设有齿轮502,所述齿轮502的一侧啮合连接有与安装板11连接的齿板架501; 所述机架1与支撑框13的内侧设置有推送机构7,所述推送机构7包括有与机架1通过轴承转动连接的传送辊707,且传送辊707的外侧绕设有传送带708,一根所述传送辊707的外侧套设有传动轮706,所述机架1与支撑框13之间位于联动轴503的一侧通过轴承转动连接有支撑轴703,所述支撑轴703的外侧由后至前依次活动连接有斜齿盘二702和可调轮704,所述可调轮704与传动轮706的外侧绕设有传动带705,所述斜齿盘二702的一侧啮合连接有套设在联动轴503外表面的斜齿盘一701; 所述机架1的后端连接有板体14,所述机架1的内侧位于传送带708的上方贯穿设置有限位机构6,所述限位机构6包括有与板体14通过轴承转动连接的旋转轴601,所述旋转轴601的外侧活动连接有位移架605,所述位移架605贯穿机架1的一端与限位板606连接,一根旋转轴601与联动轴503之间连接有锥齿轮组602,且锥齿轮组602由与联动轴503连接的主动锥齿轮和与旋转轴601连接的从动锥齿轮组成。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛航天半导体研究所有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市市南区福州北路10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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