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龙图腾网获悉杭州中为光电技术有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利一种机器人夹爪及下料方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120307196B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510798161.8，技术领域涉及：B24B41/00；该发明授权一种机器人夹爪及下料方法是由张遵浩;严顺康;张杭军;林卫国;李运伟;张争争;李强;邵振明;张广犬设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种机器人夹爪及下料方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种机器人夹爪及下料方法，涉及半导体制造技术领域，机器人夹爪包括上下片控制装置、连接于上下片控制装置端部的支撑结构和均匀设置于支撑结构上的多个吸附件组，部分吸附件组上设置有可伸缩的活动机构。当活动机构伸长或者缩短后，与活动机构连接的吸附件组上的晶圆所在平面和其余吸附件组上的晶圆所在平面之间相互平行且形成间隔，能够同时实现多片晶圆的取放。通过上述设置，本申请实现了单次取放多片晶圆的技术效果，提高了取片和下片效率的同时也减少了机器人夹爪的占用时间。

本发明授权一种机器人夹爪及下料方法在权利要求书中公布了：1.一种机器人夹爪，其特征在于，包括： 上下片控制装置100， 支撑结构200，连接于上下片控制装置100端部并通过上下片驱动装置驱动其移动；以及 多个吸附件组300，设置于所述支撑结构200上并用于吸附游星轮上的多片晶圆； 部分所述吸附件组300上设置有可伸缩的活动机构310； 当活动机构310伸长或者缩短后，与活动机构310连接的吸附件组300上的晶圆所在平面和其余吸附件组300上的晶圆所在平面之间形成间隔且相互平行； 所述吸附件组300包括： 结构板320，连接于所述支撑结构200；和 柔性杆330，设置于所述结构板320中部； 所述柔性杆330自临近结构板320和支撑结构200的连接位置朝远离该连接位置的方向延伸设置，所述柔性杆330临近该连接位置的一端固定，另一端悬挑； 所述结构板320和柔性杆330上均设置有用于吸取晶圆的负压吸盘400；所述结构板320上的负压吸盘400靠近所述结构板320和支撑结构200的连接位置设置，所述柔性杆330上的负压吸盘400远离柔性杆330固定的一端设置。

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