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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种具备在线检测功能的飞秒激光直写装置及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120382239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510879607.X，技术领域涉及：B23K26/064；该发明授权一种具备在线检测功能的飞秒激光直写装置及使用方法是由曹艳波;郑昕;钟志成;岑洎涛;田兴志设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具备在线检测功能的飞秒激光直写装置及使用方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种具备在线检测功能的飞秒激光直写装置及使用方法，涉及激光精密加工和检测技术领域。通过集成激光直写模块、显微成像模块和三维成像模块于一体的光学系统，实现了飞秒激光直写装置的高效和精确在线检测功能。

本发明授权一种具备在线检测功能的飞秒激光直写装置及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种具备在线检测功能的飞秒激光直写装置，其特征在于，包括：电控系统和光学系统500，所述光学系统500包括激光直写模块100、显微成像模块200、三维成像模块300、第一二向色镜7、第二二向色镜8、激光物镜11、Mirau型干涉物镜12、成像物镜13和物镜直线切换平台10； 所述激光直写模块100用于发射飞秒激光，使所述飞秒激光依次穿过第一二向色镜7、第二二向色镜8和激光物镜11对工件进行加工； 所述三维成像模块300用于发射连续谱光束，且所述连续谱光束被所述Mirau型干涉物镜12分成参考光束和测量光束，所述三维成像模块300还用于根据返回的参考光束和测量光束获取工件的三维图像； 所述显微成像模块200用于依次发射明场照明光和暗场照明光以照射工件形成明场反射光和暗场反射光，所述显微成像模块200还用于根据返回的明场反射光和暗场反射光分别生成明场图像和暗场图像； 所述激光物镜11、所述Mirau型干涉物镜12和所述成像物镜13均设置在物镜直线切换平台10上，所述物镜直线切换平台10用于切换各物镜的位置，以使其中一个物镜处于工作位置； 所述电控系统用于根据所述明场图像、所述暗场图像和所述三维图像生成在线检测结果，并根据在线检测结果优化加工参数，所述电控系统还用于控制所述激光直写模块100对工件进行加工； 所述光学系统500还包括对焦平台9，所述对焦平台9与所述物镜直线切换平台10连接，所述显微成像模块200中设置有对焦传感器19，所述对焦传感器19用于发射检测激光，所述检测激光经过所述激光物镜11、所述Mirau型干涉物镜12或所述成像物镜13聚焦到工件表面后反射并沿原路返回进入到所述对焦传感器19，所述对焦传感器19还用于根据返回的所述检测激光输出聚焦焦面的高度信息，所述对焦平台9用于根据所述高度信息调整物镜直线切换平台10的高度，使所述激光物镜11、所述Mirau型干涉物镜12或所述成像物镜13的聚焦焦面位于工件表面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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