华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司刘晨晖获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司申请的专利一种MOCVD专用手套箱柜体用气相外延设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120400985B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510905233.4,技术领域涉及:C30B25/08;该发明授权一种MOCVD专用手套箱柜体用气相外延设备是由刘晨晖;尧舜;董国亮;胡斌;冒凯;陈章龙;汤秀娟设计研发完成,并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MOCVD专用手套箱柜体用气相外延设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MOCVD专用手套箱柜体用气相外延设备,本发明涉及通用实验设备技术领域,该气相外延设备包括箱体、控制踏板、面板机构、穿戴机构、手套机构、操作台和机箱,箱体上设有窗口,面板机构包括滑轨和安装套板,穿戴机构包括横轨和负压机构,负压机构包括套筒,套筒上设有磁吸口,手套机构包括磁吸盘和双口手套,横轨、操作台、机箱均与箱体固定连接,滑轨与窗口固定连接,控制踏板与机箱铰接,双口手套与安装套板固定连接,磁吸盘与磁吸口通过磁力连接,控制踏板、穿戴机构、操作台均与机箱通过电信号连接;本发明满足单侧多人配合作业,视检主动对手套进行自动穿戴抚平,提升穿戴舒适度和作业精度,完成作业后对手套自清理。
本发明授权一种MOCVD专用手套箱柜体用气相外延设备在权利要求书中公布了:1.一种MOCVD专用手套箱柜体用气相外延设备,其特征在于:所述气相外延设备包括箱体1、控制踏板2、面板机构3、穿戴机构4、手套机构5、操作台6和机箱7,所述箱体1上设有窗口11,所述面板机构3包括滑轨31和安装套板34,所述穿戴机构4包括横轨41和负压机构43,所述负压机构43包括套筒431,所述套筒431上设有磁吸口4312,所述手套机构5包括磁吸盘51和双口手套57,所述横轨41、操作台6、机箱7均与箱体1固定连接,所述滑轨31与窗口11固定连接,所述控制踏板2与机箱7铰接,所述双口手套57与安装套板34固定连接,所述磁吸盘51与磁吸口4312通过磁力连接,所述控制踏板2、穿戴机构4、操作台6均与机箱7通过电信号连接; 所述穿戴机构4还包括调整机构44,所述调整机构44包括环壳45,所述环壳45、限位架435均与套筒431固定连接; 所述调整机构44还包括伺服电机46、第一齿轮杆47、第二齿轮杆48、齿环49和电磁块491,所述伺服电机46、齿环49、电磁块491均设有两组,所述伺服电机46与环壳45固定连接,一组所述伺服电机46输出端与第一齿轮杆47固定连接,另一组所述伺服电机46输出端与第二齿轮杆48固定连接,所述第一齿轮杆47、第二齿轮杆48均与齿环49齿面啮合,一组所述齿环49与进气腔451转动连接,另一组所述齿环49与出气腔452转动连接,真空泵424、液泵425、循环泵426、视检台434、伺服电机46、电磁块491均与机箱7通过电信号连接。
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