广东工业大学陈云获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种Au纳米颗粒修饰的4H-SiC纳米线场发射阴极及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120413390B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510554997.3,技术领域涉及:H01J9/02;该发明授权一种Au纳米颗粒修饰的4H-SiC纳米线场发射阴极及其制备方法是由陈云;吴恒旭;吕文奇;刘祚辉;侯茂祥;陈新设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Au纳米颗粒修饰的4H-SiC纳米线场发射阴极及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及场发射阴极技术领域,尤其涉及一种Au纳米颗粒修饰的4H‑SiC纳米线场发射阴极及其制备方法。该方法包括以下步骤:1对4H‑SiC晶片进行电化学刻蚀,在4H‑SiC晶片表面加工出竹节状4H‑SiC纳米线阵列,将4H‑SiC纳米线阵列自4H‑SiC晶片上剥离下来;2在步骤1所得的4H‑SiC纳米线阵列表面磁控溅射Au纳米颗粒;3对带有Au纳米颗粒的4H‑SiC纳米线阵列进行退火处理,退火温度200~400℃,保温时间50~70min,得到Au纳米颗粒修饰的4H‑SiC纳米线场发射阴极。本发明对有附着Au纳米颗粒的竹节状4H‑SiC纳米线进行退火处理,所得场发射阴极开启电场低且电子发射稳定性高。
本发明授权一种Au纳米颗粒修饰的4H-SiC纳米线场发射阴极及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种Au纳米颗粒修饰的4H-SiC纳米线场发射阴极制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1对4H-SiC晶片进行电化学刻蚀,在4H-SiC晶片表面加工出竹节状4H-SiC纳米线阵列,将4H-SiC纳米线阵列自4H-SiC晶片上剥离下来; 2在步骤1所得的4H-SiC纳米线阵列表面磁控溅射Au纳米颗粒; 3对带有Au纳米颗粒的4H-SiC纳米线阵列进行退火处理,退火温度200~400℃,保温时间50~70min,得到Au纳米颗粒修饰的4H-SiC纳米线场发射阴极; 所述步骤1中,4H-SiC晶片作为阳极,Pt片作为阴极,将4H-SiC晶片的C面作为刻蚀面正对于Pt电极,置于刻蚀液中进行刻蚀,刻蚀电压为20V,刻蚀时间为27~30min; 所述刻蚀液中,99vol%乙二醇、45wt%氢氟酸和30wt%过氧化氢的体积比为6:3:1; 将刻蚀完的4H-SiC晶片上的4H-SiC纳米线阵列剥离下来,然后放入乙醇溶液中浸泡,清洗后自然风干; 在刻蚀前,所述4H-SiC晶片依次在丙酮、乙醇、去离子水进行超声波清洗,之后自然风干。
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