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龙图腾网获悉合肥国家实验室;中国科学技术大学申请的专利球面镜图形的制备装置以及球面镜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120469159B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510976741.1，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权球面镜图形的制备装置以及球面镜的制备方法是由霍永恒;王萌;钟东勳;潘建伟设计研发完成，并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本球面镜图形的制备装置以及球面镜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种球面镜图形的制备装置以及球面镜的制备方法，属于精密加工领域。该球面镜图形的制备装置包括：加热板；壳体，与加热板围成空腔，壳体具有通孔；容纳组件，设置在空腔内的加热板上，容纳组件适用于容纳光刻胶溶剂；容器，设置于容纳组件内，适用于容纳基底，在基底上形成有光刻胶圆盘；其中，加热板适用于对光刻胶溶剂进行加热，光刻胶溶剂在被加热后蒸发得到蒸汽，蒸汽自通孔流出，在蒸汽在流动的过程中使光刻胶发生回流，光刻胶吸收部分蒸汽后从固体状态逐渐变为流体状态，在空腔内，蒸汽的流场被形成为使光刻胶圆盘在表面张力的作用下不断发生变形，直至得到具有目标曲率半径的球面镜图形。

本发明授权球面镜图形的制备装置以及球面镜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种球面镜图形的制备装置，所述球面镜图形用于制备球面镜，其特征在于，所述制备装置包括： 加热板； 壳体，与所述加热板围成空腔；所述壳体包括盖体部，所述盖体部上形成通孔； 容纳组件，设置在所述空腔内的加热板上，所述容纳组件适用于容纳光刻胶溶剂； 容器，设置于容纳组件内，适用于容纳基底，在所述基底上形成有光刻胶圆盘，所述光刻胶圆盘为由光刻胶形成的具有圆盘形状的光刻胶图形； 其中，所述光刻胶圆盘的直径为8mm，所述球面镜的曲率半径为10m，所述加热板适用于对所述光刻胶溶剂进行加热，所述光刻胶溶剂在被加热后蒸发得到蒸汽，所述蒸汽自所述通孔流出，在所述蒸汽在流动的过程中使所述光刻胶发生回流，所述光刻胶吸收部分蒸汽后从固体状态逐渐变为流体状态，在所述空腔内，所述蒸汽的流场被形成为使所述光刻胶圆盘在表面张力的作用下不断发生变形，直至得到球面镜图形，所述球面镜图形为具有球面镜形状的光刻胶图形； 所述制备装置还包括导流板，沿所述蒸汽的流动方向，所述导流板设置于所述容纳组件与所述盖体部之间，所述导流板适用于使所述光刻胶圆盘表面的蒸汽均匀分布； 所述通孔的大小和所述加热板的加热温度被配置为使所述光刻胶表面的蒸汽的气压小于所述光刻胶表面的饱和蒸气压； 所述空腔被配置为具有圆柱体结构，所述加热板为所述圆柱体结构的底面，所述基底位于所述容纳组件中，所述光刻胶圆盘的中心、所述通孔和所述容纳组件的中心均位于所述圆柱体结构的对称轴上。

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