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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种柜式晶圆存储装置及存储控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120473418B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510635144.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种柜式晶圆存储装置及存储控制方法是由王成鑫;曾光磊;王振强;戚汉凌;王金池;钟华;郑瑜谦设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柜式晶圆存储装置及存储控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种柜式晶圆存储装置及存储控制方法，该柜式晶圆存储装置由柜体、移动式框架、晶圆盒传送机区、晶圆盒存储区、晶圆传送定位装置和电气控制模块组成。本申请不仅能够实现对晶圆盒及其内部晶圆的自动化流转、传送和存储，无需采用额外的设备或人工介入的方式，有效降低了操作的复杂性以及潜在的污染风险，以便实现高效自动化物料存储和传送的目的，从而有效提高生产效率和安全性，还能够对多种尺寸的晶圆盒及其内部晶圆进行存储，以便同时满足多种生产需求，此外，还能够实现对多种尺寸晶圆盒及晶圆盒内的晶圆的一体化控制和溯源管理，提升产品质量和制造过程的可追溯性，实现自动化物料管理。

本发明授权一种柜式晶圆存储装置及存储控制方法在权利要求书中公布了：1.一种柜式晶圆存储装置，其特征在于，包括：柜体、开设于柜体背面且用于将晶圆传送至炉体晶舟的窗口、设置于柜体内部且用于接收并缓存多种尺寸晶圆盒的晶圆盒传送机区、设置于柜体内部且用于存储多种尺寸晶圆盒的晶圆盒存储区、固定安装于柜体内部且具有晶圆探出检测和定位功能的晶圆传送定位装置、固接于柜体内部且用于协同晶圆传送定位装置进行晶圆探出检测的第二晶圆探出检测装置以及固定安装于柜体内部的电气控制模块，所述晶圆盒传送机区、晶圆盒存储区、晶圆传送定位装置和第二晶圆探出检测装置分别与电气控制模块电性连接，用于在传送和存储过程中，对多种尺寸晶圆盒及晶圆盒内的晶圆实现一体化控制和溯源管理，当天车将某一尺寸晶圆盒传送至晶圆盒传送机区后，通过晶圆盒传送机区接收并缓存相应尺寸的晶圆盒，采集并发送晶圆盒的缓存位置信息以及晶圆盒尺寸信息至电气控制模块，电气控制模块接收晶圆盒的缓存位置信息以及晶圆盒尺寸信息后，控制处于原点位置的晶圆传送定位装置夹取晶圆盒传送机区的两个晶圆盒，随晶圆传送定位装置进行垂直上升移动过程中，执行检测和定位指令，用以对其中一个晶圆盒内的晶圆进行晶圆探出检测和晶圆定位处理，并在晶圆传送定位装置运动至第二晶圆探出检测装置处时，通过第二晶圆探出检测装置对其中另一个晶圆盒内的晶圆进行协同晶圆探出检测，以及在晶圆探出检测和晶圆定位处理完毕后，通过晶圆传送定位装置将晶圆盒传送至晶圆盒存储区或将晶圆盒内的晶圆传送至炉体晶舟中； 所述晶圆盒传送机区包括主体部、转动连接于主体部两侧的分体部以及用于控制分体部进行水平转动的第一驱动装置，所述第一驱动装置的一端与分体部转动连接，另一端与主体部转动连接，随第一驱动装置的驱动下，带动分体部旋转，用以方便控制晶圆盒的朝向，所述主体部和分体部上均设有用于检测和识别晶圆盒尺寸信息的第一尺寸识别单元； 所述晶圆盒存储区的位置与窗口的位置相对应，用于提高对晶圆传送至炉体晶舟的便捷性，所述晶圆盒存储区包括多层晶圆盒存储台，每层所述晶圆盒存储台上设有多个晶圆盒存储工位，每个所述晶圆盒存储工位上设有用于检测和识别晶圆盒尺寸信息的第二尺寸识别单元。

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