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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利碳化硅外延设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120649150B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511165777.8，技术领域涉及：C30B29/36；该发明授权碳化硅外延设备是由刘永明;王东兴;周慧娟设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化硅外延设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种碳化硅外延设备，包括反应腔、罩壳结构、环形集热仓、第一和第二进管、第一和第二输送管。反应腔顶部设有气体注入装置，底部设有尾气排放口，内部设有承载装置。承载装置外侧壁与反应腔内侧壁之间形成环形通道。罩壳结构与反应腔内顶壁间形成预留空腔。环形集热仓悬设于环形通道与反应腔之间的空间，与承载装置间以及与反应腔侧壁间均具有间距。环形集热仓相互分隔的外环形腔和内环形腔。第一和第二进管分别连通外环形腔和内环形腔并延伸至反应腔外。第一输送管两端分别连通外环形腔和气体注入装置。第二输送管两端分别连通内环形腔和预留空腔。本申请方案既能对工艺废气热量进行回收利用，又能借助工艺废气热量来缓解冷区效应。

本发明授权碳化硅外延设备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延设备，其特征在于，包括： 反应腔1，顶部设有气体注入装置11，底部设有尾气排放口12，内部设有承载装置13；所述承载装置13的外侧壁与所述反应腔1的内侧壁之间形成环形通道14； 罩壳结构2，设置在所述反应腔1的内顶部，与所述反应腔1的内顶壁之间形成有预留空腔21，所述气体注入装置11贯穿所述预留空腔21后与所述承载装置13的承载顶面相对； 环形集热仓3，设于所述环形通道14与所述反应腔1之间的空间内，与所述承载装置13之间以及与所述反应腔1的侧壁之间均具有间距，以允许气体通过；所述环形集热仓3的内腔包括相互分隔的外环形腔301和内环形腔302；所述外环形腔301围绕所述内环形腔302； 第一进管41和第二进管42，分别连通所述外环形腔301和所述内环形腔302，并延伸至所述反应腔1外部； 第一输送管43，两端分别连通所述外环形腔301和所述气体注入装置11，并在所述反应腔1的腔壁内延伸，使所述外环形腔301的热气体与所述气体注入装置11内的气体混合以提高气体温度； 第二输送管44，两端分别连通所述内环形腔302和所述预留空腔21，并在所述反应腔1的腔壁内延伸，使所述内环形腔302的热气体进入所述预留空腔21以利于所述反应腔1内反应空间的温场均匀性。

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