蓝河科技(绍兴)有限公司刘永明获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利具有热回收功能的碳化硅外延设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120666441B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511165766.X，技术领域涉及：C30B29/36；该发明授权具有热回收功能的碳化硅外延设备是由刘永明;黄小辉设计研发完成，并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有热回收功能的碳化硅外延设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种具有热回收功能的碳化硅外延设备，包括反应腔、环形集热仓和输送管。反应腔顶部设有第一气体注入装置，底部设有尾气排放口，内部设有承载装置，承载装置的承载顶面与第一气体注入装置相对。承载装置外侧壁与反应腔的内侧壁之间形成有环形通道。环形集热仓设于环形通道与反应腔内底面之间的空间，其设有第二气体进管及出管以实现气体输送，第二气体进管延伸至反应腔外部。输送管两端分别与第二气体出管及第一气体注入装置连通，用以将环形集热仓内的热气体输送至第一气体注入装置内，以与第一气体注入装置内的气体混合以提高气体温度。本申请方案既能实现对工艺废气热量的有效回收利用，又能借助工艺废气的热量来缓解冷区效应。
本发明授权具有热回收功能的碳化硅外延设备在权利要求书中公布了：1.一种具有热回收功能的碳化硅外延设备，其特征在于，包括： 反应腔1，顶部设有第一气体注入装置11，底部设有尾气排放口12，内部设有承载装置13，所述承载装置13的承载顶面与所述第一气体注入装置11相对设置；所述承载装置13外侧壁与所述反应腔1的内侧壁之间形成有环形通道14； 环形集热仓2，设于所述环形通道14与所述反应腔1内底面之间的空间，其设有第二气体进管21及第二气体出管22以实现气体的输送，所述第二气体进管21延伸至所述反应腔1外部；所述环形集热仓2与所述承载装置13之间，以及与所述反应腔1的侧壁之间均具有间距，以允许气体通过； 输送管3，其两端分别与所述第二气体出管22及所述第一气体注入装置11连通，并在所述反应腔1的侧壁内和顶壁内延伸，用以将所述环形集热仓2内的热气体输送至所述第一气体注入装置11内，以与所述第一气体注入装置11内的气体混合以提高气体温度。
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