张家港安储科技有限公司孙秀岩获国家专利权
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龙图腾网获悉张家港安储科技有限公司申请的专利一种碱性硅蚀刻液及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120718655B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511156603.5，技术领域涉及：C09K13/02；该发明授权一种碱性硅蚀刻液及其应用是由孙秀岩;房启岭;郭磊;王茜义;杨慧慧设计研发完成，并于2025-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碱性硅蚀刻液及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碱性硅蚀刻液及其应用。其包含无机金属氢氧化物、羟胺，并且还包含邻苯二酚和或间苯二酚；以重量百分比计，所述碱性硅蚀刻液包含0.1%‑2.5%的所述邻苯二酚和或间苯二酚。通过加入0.1%‑2.5%的邻苯二酚和或间苯二酚，能够显著提高蚀刻液的蚀刻速率稳定性。原因是邻苯二酚和或间苯二酚具有还原性，能够优先与溶液中的氧化剂如氧气发生反应，减少羟胺被氧化的可能性，抑制羟胺的分解。同时，通过控制加入的邻苯二酚和或间苯二酚为特定用量，避免过多的邻苯二酚和或间苯二酚吸附到硅表面，影响效果发挥。本发明的蚀刻液具有高的初始蚀刻速率，且蚀刻速率稳定性高。
本发明授权一种碱性硅蚀刻液及其应用在权利要求书中公布了：1.一种碱性硅蚀刻液，其特征在于：所述碱性硅蚀刻液包含无机金属氢氧化物、羟胺，并且还包含邻苯二酚和或间苯二酚；以重量百分比计，所述碱性硅蚀刻液包含0.7%-2.5%的所述邻苯二酚和或间苯二酚、10%-30%的无机金属氢氧化物、1%-15%的羟胺。
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