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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利支撑组件及其安装方法、拆卸方法和半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749071B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511218248.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权支撑组件及其安装方法、拆卸方法和半导体处理设备是由王菲;秦志坚设计研发完成，并于2025-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本支撑组件及其安装方法、拆卸方法和半导体处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种支撑组件及其安装方法、拆卸方法和半导体处理设备，其中支撑组件包括支撑轴和支撑盖，支撑轴被配置为由驱动部件驱动并用于支撑并带动托盘旋转；支撑轴包括第一端部、与第一端部相对的第二端部以及延伸在第一端部和第二端部之间的主体部，其中第二端部的外径大于主体部的外径；支撑盖包括第一支撑部及与第一支撑部固定相连的第二支撑部，其中第一支撑部套设于主体部且靠近第二端部，第二支撑部具有容置凹槽，第二端部置于容置凹槽内，第一支撑部的最小内径小于第二端部的外径。基于上述结构的支撑组件更容易拆卸和或安装。

本发明授权支撑组件及其安装方法、拆卸方法和半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体处理设备的支撑组件，所述半导体处理设备包含反应腔室、驱动部件以及托盘，所述托盘位于所述反应腔室内，所述托盘用于支撑衬底，所述驱动部件包括齿轮，其特征在于，所述支撑组件包括： 支撑轴，所述支撑轴被配置为由所述驱动部件驱动，所述支撑轴用于支撑并带动所述托盘旋转；所述支撑轴包括第一端部、与所述第一端部相对的第二端部以及延伸在所述第一端部和所述第二端部之间的主体部，其中所述第二端部的外径大于所述主体部的外径；所述支撑轴的主体部包括第一主体段及与所述第一主体段相邻的第二主体段，其中所述第一主体段靠近所述第一端部，所述第二主体段靠近所述第二端部，且所述第一主体段的外径小于所述第二主体段的外径；所述半导体处理设备还包括磁流体组件，所述第二主体段置于所述磁流体组件的容置通孔内；所述第二主体段的两端分别套设有第一密封件和第二密封件；所述第一密封件靠近所述第一主体段，且所述第一密封件至所述第一主体段与所述第二主体段的交界位置的距离为0mm-10mm； 支撑盖，所述支撑盖包括第一支撑部及与所述第一支撑部固定相连的第二支撑部，其中所述第一支撑部套设于所述主体部且靠近所述第二端部；所述第二支撑部具有容置凹槽，所述第二端部置于所述容置凹槽内；所述第一支撑部的最小内径小于所述第二端部的外径。

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