天津环博科技有限责任公司靳立辉获国家专利权
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龙图腾网获悉天津环博科技有限责任公司申请的专利一种硅片清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223475783U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422337039.4,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种硅片清洗装置是由靳立辉;高翔;王毅;杜晨朋;王德智;张嘉航设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种硅片清洗装置,包括清洗槽体、超声波震板、抛动支架和补液管,所述超声波震板相对设置在所述清洗槽体的侧壁内部,所述抛动支架设置在所述清洗槽体内部,与所述清洗槽体未设有所述超声波震板的侧壁活动连接,用于放置装载硅片的料框,可带动所述料框上下移动,所述补液管铺设在所述清洗槽体的底部,位于所述抛动支架的下方,所述补液管上设有多个出液孔。本实用新型的有益效果是通过带动装载硅片的料框上下移动,增强了清洗液的涤荡效果,通过设置平铺的补液管使补充液在清洗槽体中更加均匀,提高了清洗效果,保证了清洗的正常进行,结构简单,操作便捷。
本实用新型一种硅片清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗装置,包括清洗槽体,其特征在于,包括: 超声波震板,相对设置在所述清洗槽体的侧壁内部; 抛动支架,设置在所述清洗槽体内部,与所述清洗槽体未设有所述超声波震板的侧壁活动连接,用于放置装载硅片的料框,可带动所述料框上下移动; 补液管,铺设在所述清洗槽体的底部,位于所述抛动支架的下方,所述补液管上设有多个出液孔。
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