江苏微导纳米科技股份有限公司刘明获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种运输机构以及沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223480729U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423195570.9,技术领域涉及:B66F9/10;该实用新型一种运输机构以及沉积装置是由刘明;左敏;郭志强设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种运输机构以及沉积装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种运输机构以及沉积装置,涉及运输技术领域。该运输机构包括底座、平移组件、升降组件、托板、承载板和对中组件。平移组件安装于底座上,且与升降组件连接,升降组件与托板连接,对中组件安装于托板上,且与承载板连接,承载板用于承载物料载具,对中组件用于调节承载板的对中度。与现有技术相比,本实用新型提供的运输机构由于采用了安装于托板上且与承载板连接的对中组件,所以能够有效提高物料载具与沉积腔室的对中精度,保证沉积过程中沉积腔室的密封性,提高沉积效果,保证产品质量。
本实用新型一种运输机构以及沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种运输机构,其特征在于,包括底座、平移组件、升降组件、托板、承载板和对中组件,所述平移组件安装于所述底座上,且与所述升降组件连接,所述升降组件与所述托板连接,所述对中组件安装于所述托板上,且与所述承载板连接,所述承载板用于承载物料载具,所述对中组件用于调节所述承载板的对中度。
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