超微中程纳米科技(苏州)有限公司张建坡获国家专利权
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龙图腾网获悉超微中程纳米科技(苏州)有限公司申请的专利灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223481250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422560742.1,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备是由张建坡设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备在说明书摘要公布了:本实用新型一种灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备,包括镀膜箱主体,镀膜箱主体上设置有灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备,灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备包括装载板,装载板上设置有若干灯丝离子源模块,每两个灯丝离子源模块呈一组设置,每组灯丝离子源两端连接于供电电路,其中之一端连接的供电电路上设置有通断控制模块;适应性的选择其中一个灯丝离子源模块、其中两个灯丝离子源模块、其中三个灯丝离子源模块、至全部灯丝离子源模块,通电进行离子源供应,形成适应切换的快速换型的离子源供应结构,进而形成不需要频繁流通不同电流的、提高灯丝离子源高使用寿命的镀膜结构。
本实用新型灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备在权利要求书中公布了:1.一种灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备,其特征在于:包括镀膜箱主体,镀膜箱主体上设置有灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备,灯丝离子源高使用寿命的镀膜装备包括装载板,装载板上设置有若干灯丝离子源模块,每两个灯丝离子源模块呈一组设置,每组灯丝离子源两端连接于供电电路,其中之一端连接的供电电路上设置有通断控制模块; 适应性的选择其中一个灯丝离子源模块、其中两个灯丝离子源模块、其中三个灯丝离子源模块、至全部灯丝离子源模块,通电进行离子源供应,形成适应切换的快速换型的离子源供应结构,进而形成不需要频繁流通不同电流的、提高灯丝离子源高使用寿命的镀膜结构。
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