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杰莱特(苏州)精密仪器有限公司王泽获国家专利权

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龙图腾网获悉杰莱特(苏州)精密仪器有限公司申请的专利一种500cc大容量高温束源的结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223481254U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423067375.8,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种500cc大容量高温束源的结构是由王泽;武启飞;王泽钊;卢人杰;高永喜设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种500cc大容量高温束源的结构在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体提供了一种500cc大容量高温束源的结构,该结构包括坩埚,其外部设有多组环绕其设置的绝缘片,多组绝缘片之间安装有在竖直方向呈上下设置的加热丝一和加热丝二;热电偶一和热电偶二,对应的检测端分别设置于加热丝一外部以及加热丝二外部;电极一和电极二,设置于密封法兰上,且电极一和电极二分别与加热丝一和加热丝二电性连接;根据两组热电偶的反馈,实时对上下两根加热丝的电源进行功率调整,保证上下温度一致,避免因为监测的温度不准确影响成膜的速率及均匀性以及后期清理。

本实用新型一种500cc大容量高温束源的结构在权利要求书中公布了:1.一种500cc大容量高温束源的结构,其特征在于,该结构包括 坩埚1,其外部设有多组环绕其设置的绝缘片2,多组绝缘片2之间安装有在竖直方向呈上下设置的加热丝一3和加热丝二4; 热电偶一5和热电偶二6,对应的检测端分别设置于加热丝一3外部以及加热丝二4外部; 电极一7和电极二8,设置于密封法兰9上,且电极一7和电极二8分别与加热丝一3和加热丝二4电性连接; 根据两组热电偶的反馈,实时对上下两根加热丝的电源进行功率调整,保证上下温度一致。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杰莱特(苏州)精密仪器有限公司,其通讯地址为:215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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