繁枫新能源(上海)有限公司潘宇获国家专利权
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龙图腾网获悉繁枫新能源(上海)有限公司申请的专利一种用于基片加热的真空加热系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481264U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422536327.2，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种用于基片加热的真空加热系统是由潘宇设计研发完成，并于2024-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于基片加热的真空加热系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及基片加热技术领域，且公开了一种用于基片加热的真空加热系统，包括支柱，外壳，所述外壳固定设置于支柱的上方；所述外壳内部的一侧设有磁流体，所述磁流体一侧设有陶瓷板。本实用新型与传统装置相比，该装置通过该结构不光解决了软安装问题，安全问题，及保障了真空，同时也利用结构的设计使得安装调节更加便利，陶瓷的材料既可以实现保温并且结构简单，结合上下加热器的辐射热，可将热量集中与加热腔室内降低损耗的同时提高加热效率；此装置安装方便，操作简单，保证了结构的稳固，又方便安装调节,具有升温快速保温能力强灵活安装结构简单安全性强易安装操作的特点。
本实用新型一种用于基片加热的真空加热系统在权利要求书中公布了：1.一种用于基片加热的真空加热系统，包括支柱12，外壳13，其特征在于：所述外壳13固定设置于支柱12的上方； 所述外壳13内部的一侧设有磁流体8，所述磁流体8一侧设有陶瓷板11，所述陶瓷板11的中部设有陶瓷加热器五6，所述陶瓷加热器五6的一端延伸至陶瓷板11的外侧，所述陶瓷加热器五6的底部设有吸热钼板10，所述吸热钼板10的底部设有陶瓷加热器一2，所述陶瓷加热器一2底部设有陶瓷加热器三4，所述陶瓷加热器三4的底部设有陶瓷加热器二3，所述陶瓷加热器二3的底部延伸至外壳13的底部，所述外壳13的底部设有加热器进出线电极1，所述陶瓷加热器五6的一端设有陶瓷块7，所述陶瓷加热器五6的上方设有陶瓷加热器四5，所述外壳13的底部设有外部驱动电机9。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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