仁烁光能(苏州)有限公司;仁烁光能(常熟)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉仁烁光能(苏州)有限公司;仁烁光能(常熟)有限公司申请的专利预热结构及ALD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481269U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422663863.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型预热结构及ALD设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本预热结构及ALD设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于薄膜沉积技术领域，公开了一种预热结构及ALD设备，预热结构包括预热室、预热装置和控制器，预热室设有预热腔，预热腔内设有传输件和多个高温计；预热装置包括灯管、反射罩和驱动件，反射罩与预热室转动连接，反射罩围绕部分灯管的外周壁设置并形成朝向传输件的热光出口，驱动件与反射罩连接以驱使反射罩转动，驱动件转动正常灯管对应的反射罩，使正常灯管对应的热光出口朝基板温度较低的区域倾斜，使基板表面各点受热程度调整一致，从而保证基板受热均匀，保证基板后续成膜的均匀性和一致性。
本实用新型预热结构及ALD设备在权利要求书中公布了：1.一种预热结构，其特征在于，包括： 预热室100，设有预热腔110，所述预热腔110内设有传输件120和多个高温计130，多个所述高温计130沿所述传输件120的传输方向间隔设置于所述传输件120上方； 预热装置200，包括灯管210、反射罩220和驱动件230，所述反射罩220与所述预热室100转动连接，所述灯管210位于所述传输件120和所述高温计130之间并与所述反射罩220连接，所述反射罩220围绕部分所述灯管210的外周壁设置并形成朝向所述传输件120的热光出口221，围绕所述灯管210的所述反射罩220的内壁设有反光层，所述驱动件230与所述反射罩220连接以驱使所述反射罩220转动，所述预热装置200沿所述传输件120的传输方向间隔设置多个； 控制器，分别与所述高温计130、所述灯管210和所述驱动件230电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人仁烁光能(苏州)有限公司;仁烁光能(常熟)有限公司，其通讯地址为：215010 江苏省苏州市苏州高新区青城山路300号工业村标准厂房5号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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