天合光能股份有限公司;天合光能(宿迁)光电有限公司周恩顺获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司;天合光能(宿迁)光电有限公司申请的专利炉尾舟及等离子沉积炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223481272U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422922039.0,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型炉尾舟及等离子沉积炉是由周恩顺设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉尾舟及等离子沉积炉在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种炉尾舟及等离子沉积炉,炉尾舟包括舟本体、舟柄和电极,舟本体,用于承载待镀膜工件;舟本体的两端均设置有舟柄,舟本体其中一端的舟柄上构造有插接口;电极插接于插接口。通过在舟柄上构造插接口,以便于将电极插接在插接口内从而实现电极与舟柄的连接。而在本申请中通过将电极设置成与舟柄插接的形式使得电极与舟柄的连接更加可靠,从而可防止电极脱落。通过插接的形式,使得电极与舟柄的接触面积更大,从而可有效降低两者之间接触的电流,从而避免电极打弧现象。如此,可有效提高电极使用寿命,从而降低备件消耗,降低生产成本;同时,还可降低射频次数,还可降低因射频导致的硅片表面的粉尘,从而提高产品质量。
本实用新型炉尾舟及等离子沉积炉在权利要求书中公布了:1.一种炉尾舟,其特征在于,所述炉尾舟包括: 舟本体,用于承载待镀膜工件; 舟柄,所述舟本体的两端均设置有所述舟柄,所述舟本体其中一端的所述舟柄上构造有插接口; 电极,所述电极插接于所述插接口; 其中,所述电极的插接部位与所述插接口的形状相对应,以使所述电极的插接部位的外周面与所述插接口的内壁相贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天合光能股份有限公司;天合光能(宿迁)光电有限公司,其通讯地址为:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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