聚灿光电科技(宿迁)有限公司程叶获国家专利权
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龙图腾网获悉聚灿光电科技(宿迁)有限公司申请的专利一种CVD设备沉积载台结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481274U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423059255.3，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种CVD设备沉积载台结构是由程叶;张中玉;杨猛设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD设备沉积载台结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD设备沉积载台结构，包括载片台、加热单元，载片台设于加热单元的上端，载片台上设有多个沉积凹槽，每个沉积凹槽的底部开设有顶针孔，顶针孔向下延伸贯穿加热单元，顶针孔内滑动连接有顶针，顶针下端连接有用于驱动其沿顶针孔进行升降运动的升降联动机构。本实用新型通过升降联动机构使每个片源在沉积过程中可升高脱离沉积凹槽，既消除了沉积凹槽对片源边缘位置沉积膜厚度的影响，又方便了操作人员的取片工作，从而提高膜厚的均匀性，减少片源刮伤、污染等问题，改善产品良率。
本实用新型一种CVD设备沉积载台结构在权利要求书中公布了：1.一种CVD设备沉积载台结构，其特征在于：包括载片台、加热单元，所述载片台设于加热单元的上端，所述载片台上设有多个沉积凹槽，每个所述沉积凹槽的底部开设有顶针孔，所述顶针孔向下延伸贯穿加热单元，顶针孔内滑动连接有顶针，所述顶针下端连接有用于驱动其沿顶针孔进行升降运动的升降联动机构。
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