北京石墨烯研究院;苏州大学;北京大学;北京石墨烯研究院有限公司孙靖宇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院;苏州大学;北京大学;北京石墨烯研究院有限公司申请的专利加热装置及CVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481275U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422533210.9，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型加热装置及CVD设备是由孙靖宇;贾丽;刘忠范;魏文泽;张钦迟;蔡阿利设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置及CVD设备在说明书摘要公布了：本公开涉及化学气相沉积制备技术领域，尤其是涉及一种加热装置及CVD设备。加热装置包括线圈组件、石墨盘和导热垫片，线圈组件包括线圈和供电装置，线圈用于设置在CVD设备的腔室的周向外表面，供电装置用于向线圈供电，以使腔室内产生磁场；石墨盘用于安装于腔室内，石墨盘能够产生热量；导热垫片位于石墨盘上，与石墨盘同轴设置，导热垫片的直径小于石墨盘的直径；导热垫片用于承托晶圆，晶圆的直径大于导热垫片的直径，晶圆包括第一区域和第二区域，第一区域能够与导热垫片直接接触，第二区域与石墨盘之间间隙设置。通过热传导和热辐射相结合的加热方式，提高了晶圆温度分布的均匀性，有利于提高二维材料薄膜的均匀性和质量。
本实用新型加热装置及CVD设备在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，其特征在于，应用于CVD设备的腔室，所述加热装置包括： 线圈组件，所述线圈组件包括线圈和供电装置，所述线圈用于设置在所述腔室的周向外表面，所述供电装置用于向所述线圈供电，以使所述腔室内产生磁场； 石墨盘，所述石墨盘用于安装于所述腔室内，所述石墨盘能够在磁场的作用下产生热量；以及 导热垫片，所述导热垫片位于所述石墨盘上，所述导热垫片与所述石墨盘同轴设置，所述导热垫片的直径小于所述石墨盘的直径；所述导热垫片用于承托晶圆，其中，所述晶圆的直径大于所述导热垫片的直径，所述晶圆包括第一区域和第二区域，所述第一区域能够与所述导热垫片直接接触，所述第二区域与所述石墨盘之间间隙设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京石墨烯研究院;苏州大学;北京大学;北京石墨烯研究院有限公司，其通讯地址为：100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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