宏硕系统股份有限公司邓亘皓获国家专利权
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龙图腾网获悉宏硕系统股份有限公司申请的专利用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481277U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423016263.X，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构是由邓亘皓设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构，其用以让一微波形成一微波场，该腔体结构包含一外壳及一载物台。外壳包含一内底面、一内顶面、及一内环壁面。内顶面和内底面彼此之间互相间隔且面向彼此，内底面的直径大于内顶面的直径，且内顶面朝向内底面凸出。内环壁面两端分别连接内顶面及内底面，借此一腔室形成于内底面、内顶面、及内环壁面之间。微波场位于腔室。载物台设置于腔室，载物台具有一载物面，载物面面向内顶面。本实用新型的腔体结构可以避免引发双火球现象，减少对微波电浆化学气相沉积反应的影响。
本实用新型用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构在权利要求书中公布了：1.一种用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构，其特征在于，用以让一微波形成一微波场，该用于微波电浆化学气相沉积设备的腔体结构包含： 一外壳，其包含： 一内底面及一内顶面，其彼此之间互相间隔且面向彼此，该内底面的直径大于该内顶面的直径，且该内顶面朝向该内底面凸出；及 一内环壁面，其两端分别连接该内顶面及该内底面，借此一腔室形成于该内底面、该内顶面、及该内环壁面之间，且该微波场位于该腔室；以及 一载物台，其设置于该腔室，该载物台具有一载物面，该载物面面向该内顶面。
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