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中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司滕杨获国家专利权

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龙图腾网获悉中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利支撑结构、基座组件和外延生长设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223481344U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422993789.7,技术领域涉及:C30B23/02;该实用新型支撑结构、基座组件和外延生长设备是由滕杨;李青海;权爱春;张峻纲;王敏;王雪伶;谢鑫磊;张礼鑫设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

支撑结构、基座组件和外延生长设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种支撑结构、基座组件和外延生长设备,支撑结构包括:第一支撑座、第二支撑座和变形驱动部件,第一支撑座具有用于承载衬底的第一承载面,第二支撑座具有用于承载衬底的第二承载面,变形驱动部件用于驱动第一支撑座和或第二支撑座运动,以使支撑结构具有收缩状态和展开状态,在展开状态,第一承载面和第二承载面在上下方向上齐平设置,且在水平面上,展开状态下第一承载面和第二承载面正投影的至少部分位于收缩状态下第一承载面和第二承载面正投影的外轮廓的外侧。由此,通过展开状态下的第一承载面和第二承载面共同承载衬底,便于增大支撑结构与衬底的接触面积,从而有利于减少衬底在支撑结构处的形变,提高产品质量。

本实用新型支撑结构、基座组件和外延生长设备在权利要求书中公布了:1.一种支撑结构,其特征在于,所述支撑结构用于外延生长设备,且适于可升降地设于所述外延生长设备的基座上,所述支撑结构包括: 第一支撑座,所述第一支撑座具有用于承载衬底的第一承载面; 第二支撑座,所述第二支撑座具有用于承载衬底的第二承载面; 变形驱动部件,所述变形驱动部件用于驱动所述第一支撑座和或所述第二支撑座运动,以使所述支撑结构具有收缩状态和展开状态,在所述收缩状态,所述第一承载面和所述第二承载面在上下方向上间隔设置,在所述展开状态,所述第一承载面和所述第二承载面在上下方向上齐平设置,且在水平面上,所述展开状态下所述第一承载面和所述第二承载面正投影的至少部分位于所述收缩状态下所述第一承载面和所述第二承载面正投影的外轮廓的外侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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