中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司曾虹钧获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种安全控制装置和外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481345U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422948448.8，技术领域涉及：C30B25/16；该实用新型一种安全控制装置和外延设备是由曾虹钧设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种安全控制装置和外延设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种安全控制装置和外延设备。该安全控制装置应用于外延设备，包括控制单元；控制单元与外延设备电连接；控制单元包括第一控制模块、第二控制模块和第三控制模块；第一控制模块、第二控制模块和第三控制模块互相通讯连接；第一控制模块分别与外延设备中的传送腔室、多个反应腔室、多个加载腔室电连接，第二控制模块分别与传送腔室和多个反应腔室电连接，第三控制模块分别与传送腔室和多个加载腔室电连接。本申请实施例中，通过控制单元独立控制外延设备中的各个腔室，实现系统性针对传送腔室中的可运动部件的安全控制以及针对各个腔室的安全控制，避免安全隐患。
本实用新型一种安全控制装置和外延设备在权利要求书中公布了：1.一种安全控制装置，其特征在于，应用于外延设备，包括控制单元；所述控制单元与所述外延设备电连接； 所述控制单元包括第一控制模块、第二控制模块和第三控制模块；所述第一控制模块、所述第二控制模块和所述第三控制模块互相通讯连接； 所述第一控制模块分别与所述外延设备中的传送腔室、多个反应腔室、多个加载腔室电连接，所述第二控制模块分别与所述传送腔室和所述多个反应腔室电连接，所述第三控制模块分别与所述传送腔室和所述多个加载腔室电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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