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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利阀门及电子束检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223483467U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423261979.6，技术领域涉及：F16K3/02；该实用新型阀门及电子束检测设备是由李帅辰;孙炳晖设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本阀门及电子束检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，要解决阀门动作过程中产生粉末导致阀门密封性能降低的问题。本实用新型提供了一种阀门及电子束检测设备，阀门包括：密封板；推压板，设置于密封板相背于分隔壁一侧；一根或多根连杆，每根连杆的两端分别铰接于密封板以及推压板；止挡件设置于分隔壁上，并位于密封板以及推压板同一侧；驱动组件，设置于密封板以及推压板与止挡件相对的另一侧，并包括：第一顶杆朝向止挡件顶推密封板，并且与密封板通过一弹性件连接；第二顶杆朝止挡件顶推推压板，止挡件被配置成在抵接于密封板时利用连杆在推压板继续被推动的过程将密封板压向分隔壁，从而封闭连接通孔。本实用新型克服了上述的技术问题。

本实用新型阀门及电子束检测设备在权利要求书中公布了：1.一种阀门，其特征在于，用于开闭设置于电子束检测设备中分隔壁上的连接通孔，并且所述阀门包括： 密封板，用于与所述分隔壁平行设置，并且与所述分隔壁相对的板面设置有用于与所述连接通孔配合的密封部； 推压板，设置于所述密封板相背于所述分隔壁一侧； 一根或多根连杆，每根所述连杆的两端分别铰接于所述密封板以及所述推压板； 止挡件，设置于所述分隔壁上，并位于所述密封板以及所述推压板同一侧； 驱动组件，设置于所述密封板以及所述推压板与所述止挡件相对的另一侧，且被配置为推动所述密封板和所述推压板向所述止挡件运动，以关闭所述连接通孔，并包括： 第一顶杆，用于朝向所述止挡件的方向顶推所述密封板，并且与所述密封板通过一弹性件连接，以允许所述第一顶杆与所述密封板可相对移动； 第二顶杆，用于朝向所述止挡件的方向顶推所述推压板，并与所述推压板的侧边固定设置，且所述止挡件被配置成限定所述密封板沿顶推方向的位置，并利用所述连杆在所述推压板继续被推动的过程将所述密封板压向所述分隔壁，从而使所述密封部与所述连接通孔密封配合。

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