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深圳市镨芯高精设备有限公司刘冬安获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市镨芯高精设备有限公司申请的专利气体流道块组件及气路系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223483612U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423153558.1,技术领域涉及:F16L3/00;该实用新型气体流道块组件及气路系统是由刘冬安;谭锦升;李玉珍;蔡嘉巍设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

气体流道块组件及气路系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种气体流道块组件及气路系统,涉及半导体加工设备技术领域,其中,气体流道块组件包括:母件,设有流道以及与所述流道连通的进口、出口和机械加工口;子件,所述母件与所述子件分体设置,且所述子件开设容纳槽,所述母件设于所述容纳槽内;以及定位组件,包括第一定位部和第二定位部,所述第一定位部设于所述母件,所述第二定位部设于所述子件,且所述第一定位部与所述第二定位部配合设置。本实用新型技术方案提出的气体流道块组件母件可以作为标准构件进行模块化生产,提升生产效益,子件款式可以随各种产品设计需求做出自由变更而不会影响气体流动功能。

本实用新型气体流道块组件及气路系统在权利要求书中公布了:1.一种气体流道块组件,其特征在于,包括: 母件,设有流道以及与所述流道连通的进口、出口和机械加工口; 子件,所述母件与所述子件分体设置,且所述子件开设容纳槽,所述母件设于所述容纳槽内;以及 定位组件,包括第一定位部和第二定位部,所述第一定位部设于所述母件,所述第二定位部设于所述子件,且所述第一定位部与所述第二定位部配合设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市镨芯高精设备有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区71区加际洲厂房A栋301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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