安徽量伙半导体有限公司杨锋获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽量伙半导体有限公司申请的专利一种快速退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223484820U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422625917.2，技术领域涉及：F27B17/00；该实用新型一种快速退火设备是由杨锋;吴承岩;郑永昌设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速退火设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于热处理技术领域，且公开了一种快速退火设备，包括退火炉，所述退火炉的底部设置有测温仪，所述退火炉的一侧设置有自动腔门，所述退火炉的内部设置有腔室结构，所述退火炉的底面设置有石英长柱，所述石英长柱的顶端设置有石英模组，所述石英模组的内部呈环形等角度设置有石英短柱。本实用新型设置有晶圆模组、石英模组、石英长柱、硅环、石英针，将硅环套入石英短柱上部较细的位置，石英短柱下部的位置插入圆孔，石英针插入向上内孔，使得石英环直接可以套在腔室底部的石英柱上，拆装便利，通过简单的操作即可达到兼容各类晶圆退火场景的效果，使得晶圆产品退火完成后能够将晶圆盒快速拆卸，提高晶圆产品的退火效率。
本实用新型一种快速退火设备在权利要求书中公布了：1.一种快速退火设备，包括退火炉6，其特征在于：所述退火炉6的底部设置有测温仪7，所述退火炉6的一侧设置有自动腔门8，所述退火炉6的内部设置有腔室结构9，所述退火炉6的底面设置有石英长柱3，所述石英长柱3的顶端设置有石英模组2，所述石英模组2的内部呈环形等角度设置有石英短柱31，所述石英短柱31的一端设置有硅环4，所述石英模组2的内部呈三角关系设置有石英针5，所述硅环4与石英模组2之间的空腔处设置有晶圆模组1，所述退火炉6的中部设置有支柱10，所述支柱10的外壁设置有支板11，所述支板11的内部设置有传动组件12，所述支柱10的顶端设置有定位组件13。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽量伙半导体有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区海恒社区宿松路3963号A3栋1502室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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