无锡升滕半导体技术有限公司韩万华获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡升滕半导体技术有限公司申请的专利一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223485069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423057188.1,技术领域涉及:G01B5/12;该实用新型一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具是由韩万华;王路;杨从飞设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及检测治具技术领域,具体为一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具,包括轴座,所述轴座的内侧固定连接有转轴,所述转轴的外壁转动连接有多个均匀分布的转筒,多个所述转筒的外壁均固定连接有连杆,所述连杆的另一端开设有安装孔,所述转杆的另一端延伸至连杆的外部且固定连接有固定块,多个固定环的内径尺寸均不相同,因此根据需要检测的喷淋板规格和大小首先选择固定环,实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径,缩短了检测时间,通过转动转杆可带动固定块和固定环旋转,从而调节喷淋板的角度,以便于更好的对喷淋板检测,通过底板底部的滚轮方便设备移动,且可以转动整个支柱,从而调整喷淋板的位置和朝向,使用方便。
本实用新型一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具在权利要求书中公布了:1.一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具,包括轴座1,其特征在于:所述轴座1的内侧固定连接有转轴2,所述转轴2的外壁转动连接有多个均匀分布的转筒3,多个所述转筒3的外壁均固定连接有连杆4,所述连杆4的另一端开设有安装孔5,所述安装孔5的内部通过轴承6转动连接有转杆7,所述转杆7的另一端延伸至连杆4的外部且固定连接有固定块8,所述固定块8的另一端固定连接有固定环9。
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