浙江芯微泰克半导体有限公司王冲获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯微泰克半导体有限公司申请的专利管式炉的变形检测组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223485128U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423183450.7，技术领域涉及：G01B11/16；该实用新型管式炉的变形检测组件是由王冲;陈轮兴;义岚设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本管式炉的变形检测组件在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种管式炉的变形检测组件，其包括出光器件，出光器件被配置为进行俯仰调节，及沿管式炉的圆周方向旋转，同时光器件发出的照射光被配置为从管式炉的第一端处射入至管式炉的内腔中，并在管式炉的内腔壁处反射至管式炉的第二端处，进而可以通过反射至管式炉的第二端处的光斑是否发生偏移，以确定管式炉是否发生变形，提高了检测管式炉是否变形的准确性，从而可以避免出现晶圆无法顺利从管内取出。
本实用新型管式炉的变形检测组件在权利要求书中公布了：1.一种管式炉的变形检测组件，其特征在于，包括： 出光器件，被配置为进行俯仰调节，及沿所述管式炉的圆周方向旋转； 其中，所述出光器件发出的照射光被配置为从所述管式炉的第一端处射入至所述管式炉的内腔中，并在所述管式炉的内腔壁处反射至所述管式炉的第二端处，所述第一端、所述第二端分别为所述管式炉相对应的两端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江芯微泰克半导体有限公司，其通讯地址为：323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道上徐路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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