深圳迈塔兰斯科技有限公司陈建发获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳迈塔兰斯科技有限公司申请的专利一种晶圆级检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223485874U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422848269.7，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆级检测装置是由陈建发;韩雨希;程佳平;王穗玲;郝成龙;谭凤泽;朱健设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆级检测装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆级检测装置，所述晶圆级检测装置包括：光源、承载模组、透射膜和相机；光源与相机分别设置在透射膜的两侧；光源用于向待检测晶圆上的子光学元件发射光束，子光学元件将光束调制为对应的光场分布；承载模组用于承载并固定待检测晶圆，且承载模组被设置为相对于所述光源可移动的，使得待检测晶圆上的任一子光学元件均可对准光源的中心；透射膜用于接收光场分布；相机用于拍摄所述透射膜上的光场分布，拍摄所得图像用于检测对应的子光学元件的光学性能参数，其中，相机被设置为非过曝状态。本申请能够有效缩短晶圆检测的时间，提升晶圆检测的效率，从而能够快速对大批量晶圆进行检测。
本实用新型一种晶圆级检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆级检测装置，其特征在于，所述晶圆级检测装置包括：光源、承载模组、透射膜和相机； 所述光源与所述相机分别设置在所述透射膜的两侧； 所述光源用于向待检测晶圆上的子光学元件发射光束，所述子光学元件将所述光束调制为对应的光场分布； 所述承载模组用于承载并固定所述待检测晶圆，且所述承载模组被设置为相对于所述光源可移动的，使得所述待检测晶圆上的任一子光学元件均可对准所述光源的中心； 所述透射膜用于接收所述光场分布；所述相机用于拍摄所述透射膜上的光场分布，拍摄所得图像用于检测对应的子光学元件的光学性能参数，其中，所述相机被设置为非过曝状态。
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