深圳市森美协尔科技有限公司欧晓永获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利卡盘组件及探针台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486040U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422761660.3，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型卡盘组件及探针台是由欧晓永;丁文雄设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘组件及探针台在说明书摘要公布了：本申请提供了一种卡盘组件及探针台，卡盘组件包括支撑基板、侧板、透光件和背光组件。侧板环设支撑基板的边缘，侧板背离支撑基板的一侧设有真空吸附槽，真空吸附槽对应待检测晶圆设置，用于吸附固定待检测晶圆。透光件用于承载待检测晶圆，透光件的外周抵接侧板，且透光件、侧板及支撑基板围合形成收容空间。背光组件设于支撑基板上且设于收容空间内，透光件对应背光组件的出光面设置，背光组件用于发出可见光至透光件，可见光透过透光件并出射至待检测晶圆上。对于需要在光照环境下进行测试的晶圆，本申请直接将背光组件设于卡盘组件内，不需额外设置背光结构，有利于简化卡盘组件结构的同时能够提供背光检测环境，以对待检测晶圆进行检测。
本实用新型卡盘组件及探针台在权利要求书中公布了：1.一种卡盘组件，用于承载待检测晶圆，其特征在于，所述卡盘组件包括： 支撑基板； 侧板，所述侧板环设所述支撑基板的边缘，所述侧板背离所述支撑基板的一侧设有真空吸附槽，所述真空吸附槽对应所述待检测晶圆设置，用于吸附固定所述待检测晶圆； 透光件，所述透光件用于承载所述待检测晶圆，所述透光件的外周抵接所述侧板，且所述透光件、所述侧板及所述支撑基板围合形成收容空间；以及 背光组件，所述背光组件设于所述支撑基板上且设于所述收容空间内，所述透光件对应所述背光组件的出光面设置，所述背光组件用于发出可见光至所述透光件，所述可见光透过所述透光件并出射。
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