宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机的晶圆定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486355U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423120284.6，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种涂胶显影机的晶圆定位装置是由周修斌;安礼余设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机的晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种涂胶显影机的晶圆定位装置，包括显影机和晶圆，所述显影机内设有安装座，所述安装座内固定安装有固定框，所述安装座内转动安装有转环，所述转环上套接有安装环，所述安装环上设有内齿和外齿，所述安装座上设有多组环形分布的调节架，多组所述调节架均通过安装杆与安装座转动连接，所述安装杆上套接有齿轮，所述齿轮通过外齿与安装环啮合连接，所述调节架上转动安装有安装筒，所述安装筒上套接有两组对称分布的扭转弹簧，所述安装筒上套接有套筒，摩擦力大的套筒以及扭转弹簧抵消晶圆由于离心力产生的自身转动的趋势，避免晶圆相对于套筒产生滑动，进而导致晶圆外圈的磨损。
本实用新型一种涂胶显影机的晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机的晶圆定位装置，包括显影机1和晶圆3，其特征在于：所述显影机1内设有安装座2，所述安装座2内固定安装有固定框4，所述安装座2内转动安装有转环6，所述转环6上套接有安装环7，所述安装环7上设有内齿8和外齿9，所述安装座2上设有多组环形分布的调节架13，多组所述调节架13均通过安装杆11与安装座2转动连接，所述安装杆11上套接有齿轮12，所述齿轮12通过外齿9与安装环7啮合连接，所述调节架13上转动安装有安装筒14，所述安装筒14上套接有两组对称分布的扭转弹簧15，所述安装筒14上套接有套筒16，多组所述套筒16均与晶圆3外圈贴合，所述套筒16与安装筒14之间设有四组对称分布的阻尼杆17，所述固定框4内设有四组对称分布的真空吸盘5。
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