泰州市子拓光电科技有限公司窦海斌获国家专利权
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龙图腾网获悉泰州市子拓光电科技有限公司申请的专利一种具有送料结构的高精度光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423171753.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有送料结构的高精度光刻机是由窦海斌;周跃设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有送料结构的高精度光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有送料结构的高精度光刻机，涉及光刻机技术领域，包括光刻机本体以及送料传送带，所述送料传送带安装在光刻机本体的内壁面，所述光刻机本体的内壁面安装有检测结构，所述光刻机本体的内壁面安装有上料固定架，所述上料固定架的上壁面安装有上料结构，所述送料传送带的下方安装有回收结构；硅片经过第一个检测模组时，检测模组在系统中将瑕疵硅片进行标记，经过第二个检测模组时，第二个检测模组控制上料结构运行，将瑕疵硅片回收，合格硅片进行送料，解决了由于光刻机送料线较长，部分硅片可能在送料时出现损伤，影响光刻进度，现有的高精度光刻机送料时，需要人工检测送料的硅片有无瑕疵，人力耗费较为严重的问题。
本实用新型一种具有送料结构的高精度光刻机在权利要求书中公布了：1.一种具有送料结构的高精度光刻机，包括光刻机本体1以及送料传送带2，其特征在于，所述送料传送带2安装在光刻机本体1的内壁面，所述光刻机本体1的内壁面安装有检测结构，所述光刻机本体1的内壁面安装有上料固定架3，所述上料固定架3的上壁面安装有上料结构，所述送料传送带2的下方安装有回收结构。
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