宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体加工用显影机烘烤装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486359U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423047194.9，技术领域涉及：G03F7/38；该实用新型一种半导体加工用显影机烘烤装置是由周修斌;安礼余设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用显影机烘烤装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体加工用显影机烘烤装置，包括外壳，所述外壳内部滑动安装有烘烤翻转装置。本实用新型通过安装烘烤翻转装置，晶圆采用滑动的方式卡进两个放置框之间，对晶圆进行支撑，且设置的防滑垫避免翻转过程中晶圆的掉落，另外在双头电机的驱动下使得两端的转轴带动放置框进行翻转，能够不断改变晶圆在外壳内的位置，使得晶圆受热更加均匀，提高晶圆烘烤的效率以及节能降耗，设置的锁紧组件能够对翻转停止的放置框进行固定，避免放置框的误转使得放置框倾斜，进而不便于将固定框从外壳抽取出，当翻转结束放置框处于水平状态时，设置的锁紧组件通过上下电磁铁通电后的磁吸使其对转轴进行固定，方便将烘烤翻转装置抽取出来。
本实用新型一种半导体加工用显影机烘烤装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工用显影机烘烤装置，包括外壳1，其特征在于：所述外壳1内部滑动安装有烘烤翻转装置2； 所述烘烤翻转装置2包括固定框21，所述固定框21凹槽的中部均转动连接有转轴24，所述转轴24穿过固定框21内壁并固定连接有放置框25，所述放置框25凹槽的上下侧均设置有防滑垫26，所述固定框21中部凹槽的一侧均安装有锁紧组件27，所述锁紧组件27位于转轴24的上下两侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宇弘研科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励