内蒙金属材料研究所李晓静获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙金属材料研究所申请的专利一种用于等离子体的防扩散污染装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486990U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421705410.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种用于等离子体的防扩散污染装置是由李晓静;朱航;白晓东;蒋凯;夏超翔;吴晓雪;巩书通设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于等离子体的防扩散污染装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于等离子体的防扩散污染装置，包括底座以及可拆卸安装在底座上的固定板；所述底座开设有供离子源激发射入的空心腔，所述固定板开设有与所述空心腔连通的连通孔；所述底座位于所述空心腔的一侧可拆卸安装有真空管，所述真空管的腔室与所述空心腔的腔室连通；所述底座上设置有将所述固定板与所述底座密封的密封组件以及将所述固定板固定在所述底座上的固定组件。本实用新型能够避免产生的等离子体会溅射真空腔体，增加固定板设置在底座上的稳定性。
本实用新型一种用于等离子体的防扩散污染装置在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体的防扩散污染装置，其特征在于，包括底座1以及可拆卸安装在底座1上的固定板2；所述底座1开设有供离子源激发射入的空心腔11，所述固定板2开设有与所述空心腔11连通的连通孔21；所述底座1位于所述空心腔11的一侧可拆卸安装有真空管3，所述真空管3的腔室与所述空心腔11的腔室连通；所述底座1上设置有将所述固定板2与所述底座1密封的密封组件4以及将所述固定板2固定在所述底座1上的固定组件5。
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