海南大学三亚研究院刘钟远获国家专利权
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龙图腾网获悉海南大学三亚研究院申请的专利用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486993U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422881002.8，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台是由刘钟远;范谞;余乐俊;吕威设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台，包括：载物平台，其上开设有若干个同心布置的环形槽，且每一环形槽对应一个规格尺寸的待检测晶圆的大小，每一环形槽内沿周向开设有若干个盲孔；晶圆承载柱，多根晶圆承载柱可拆卸地嵌入与待检测晶圆相同规格尺寸的环形槽的盲孔内，且晶圆承载柱的顶端高于载物平台的上表面，晶圆承载柱用于承载待检测晶圆。本实用新型在切换测试不同规格尺寸的待检测晶圆时，不需要将平台拆卸更换，只需拆移晶圆承载柱即可，省时省力，且不需要备多个尺寸的平台，节约成本，并且通过晶圆承载柱可将待检测晶圆撑起来以减少晶圆正面与载物平台之间的接触，以减少因接触的原因造成晶圆表面的缺陷。
本实用新型用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台在权利要求书中公布了：1.一种用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台，其特征在于，包括： 载物平台，所述载物平台上开设有若干个同心布置的环形槽，且每一所述环形槽对应一个规格尺寸的待检测晶圆的大小，每一所述环形槽内沿周向开设有若干个盲孔； 晶圆承载柱，多根所述晶圆承载柱可拆卸地嵌入与所述待检测晶圆相同规格尺寸的所述环形槽的盲孔内，且所述晶圆承载柱的顶端高于所述载物平台的上表面，所述晶圆承载柱用于承载所述待检测晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海南大学三亚研究院，其通讯地址为：572024 海南省三亚市崖州区崖州湾科技城百泰产业园3号楼5层501室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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