芯恩(青岛)集成电路有限公司刘浩获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利贴膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223486995U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422614921.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型贴膜装置是由刘浩;李琪设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本贴膜装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种贴膜装置，包括第一旋转台、扫描机构和控制分析模组，其中，第一旋转台用于固定目标晶圆以及驱动目标晶圆旋转。扫描机构配置为沿第一旋转台的径向发射和接收扫描信号，且目标晶圆背离第一旋转台的一侧位于扫描信号的扫描路径上，扫描机构用于检测目标晶圆上的颗粒物并获取颗粒物的尺寸信息。控制分析模组与扫描机构电连接，用于接收尺寸信息，并将尺寸信息与设置在其内的预设范围进行比较，并根据比较结果输出与所述比较结果相对应的控制指令，如在颗粒物的尺寸信息大于预设范围时发出报警指令以提醒操作人员，或者在颗粒物的尺寸信息位于预设范围内时发出清洗控制指令以对目标晶圆进行清洗。
本实用新型贴膜装置在权利要求书中公布了：1.一种贴膜装置，用于对目标晶圆待贴膜端面进行贴膜，其特征在于，包括： 第一旋转台，用于固定目标晶圆以及驱动所述目标晶圆旋转； 扫描机构，配置为沿所述第一旋转台的径向发射和接收扫描信号，且所述目标晶圆背离所述第一旋转台的一侧位于所述扫描信号的扫描路径上，所述扫描机构用于检测所述目标晶圆上的颗粒物并获取所述颗粒物的尺寸信息； 控制分析模组，与所述扫描机构电连接，用于接收所述尺寸信息，并将所述尺寸信息与设置在其内的预设范围进行比较，并根据比较结果输出与所述比较结果相对应的控制指令。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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