台湾积体电路制造股份有限公司洪伟杰获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利半导体制造设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223487000U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422907748.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型半导体制造设备是由洪伟杰;许凯翔;简汎轩;郑培彦;林志男;蔡昌峰设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制造设备在说明书摘要公布了:本案揭示一种半导体制造设备。设备包括用以保持晶圆的晶圆保持器、设置于晶圆之上并用以提供材料至晶圆的喷嘴、及用以调整喷嘴的组态以提高设置于晶圆上的材料的均匀性的喷嘴控制装置。
本实用新型半导体制造设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体制造设备,其特征在于,包含: 一晶圆保持器; 一喷嘴,设置于该晶圆保持器之上,其中该喷嘴包含: 一孔口;及 一阻挡装置,设置于该孔口处;及 一致动器,连接该阻挡装置。
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