上海新昇半导体科技有限公司沈俊熙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司申请的专利载台清洁装置及清洁设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223487002U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423042203.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型载台清洁装置及清洁设备是由沈俊熙;马翔;季文明;张博毅设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本载台清洁装置及清洁设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种载台清洁装置及清洁设备，载台清洁装置包括：基座和清洁组件；所述清洁组件沿第一方向的一端具有清洁部；所述清洁组件连接于所述基座；所述清洁组件与所述基座沿所述第一方向之间具有浮动间隙。本实用新型的清洁装置设置为浮动式结构，其可基于载台承载面高度的变化自适应浮动，以适应不同的载台的承载面的清洁。
本实用新型载台清洁装置及清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种载台清洁装置，其特征在于，包括：基座和清洁组件； 所述清洁组件沿第一方向的一端具有清洁部； 所述清洁组件连接于所述基座； 所述清洁组件与所述基座沿所述第一方向之间具有浮动间隙。
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